DB31/ 506-2020 集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额.pdf

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  • E =(E,×k,)

    E一集成电路晶圆产品综合能耗(折算成电能),单位为千瓦时(kWh); E一一集成电路晶圆制造使用第i种能源实物量,单位为实物量单位; k一第i种能源的折电能系数(参见表A.1折标煤系数,并按0.1229千克标准煤/千瓦小时转换为 折电能系数); Ⅱ一使用能源种类数。 各种能源的热值及折算电能值以企业在统计报告期内实测值为准。没有实测条件的,应参照附录A 表A.1确定折算系数。

    外墙外保温标准规范范本5.2.2集成电路晶圆制造单位产品综合能耗

    电路晶圆制造单位产品综合能耗按公式(2)计

    式中: e一集成电路晶圆单位产品综合能耗,单位为千瓦时/平方厘米(kWh/cm); E一集成电路晶圆产品综合能耗,单位为千瓦时(kWh); A一生产加工的各种集成电路晶圆产品的总面积,单位为平方厘米(cm)。计算方法为加工晶 圆总片数乘以晶圆的单片面积;

    表4晶圆直径大小与单片晶圆面积对照表

    当产能利用率<80%时,设立集成电路晶圆制造能耗指标的产能利用率的修正系数,见表5。

    表5产能利用率修正系数

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    5. 2. 4 企业产能利用率

    企业产能利用率按公式(3)计算: L;=P/ P。 式中: 企业产能利用率,单位为百分数(%); 企业在自然考核年度内,实际产出的合格晶圆产品数; 企业在建造时,设计的年产出加工晶圆产品数。

    6.1.1企业应加强对产品能 考核制度,定期对产品能耗进行考核。 源计量管理制度

    6.2.1企业使用的通用设备应达到经济运行状态,对用能设备的经济运行管理应符合相关经济运行标 准的规定。 6.2.2对于新建及扩建企业,其年运行时间大于3000小时,负载率大于60%的电动机、空气压缩机 水泵等通用设备,应不低于2级能效的要求。 6.2.3企业应根据产品生产工艺(工序)过程、装置、设施和设备的能耗状况,制定相应的节能改造 规划和节能措施的实施计划,

    照明标准规范范本附录A 【资料性附录) 各种能源折标准煤系数

    各种能源折标准煤系数见表A.1。

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    附录A 【资料性附录) 各种能源折标准煤系数

    表A.1各种能源折标准煤系数

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    市政工程施工组织设计1]GB/T2589综合能耗计算通则 [2]GB/T23331能源管理体系要求

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