HG／T 5962-2021  硅片切割废液处理处置方法

切方后的切割废浆料（离线）经压滤机固液分离得到聚乙二醇（高浓度）。滤饼（砂料）加入后 续工序产生的回用液调制成浆，进行四道循环压滤得到聚乙二醇，再经吸附脱色、脱悬分离、树脂交 换、微孔过滤及蒸发脱水得到成品聚乙二醇，与得到的聚乙二醇（高浓度）一并用于硅片切割。成品 聚乙二醇处理过程产生的固体废物（废活性炭、废树脂及浆渣）收集后交相关单位处理处置。 含微硅粉的碳化硅（滤饼）加入去离子水和聚乙二醇蒸发冷凝水，经悬流分离、底流筛分、带式 过滤、碱洗、酸洗、水洗后，烘干脱水、筛分，得到成品碳化硅及微硅粉（含少量或微量碳化硅）。 成品聚乙二醇及成品碳化硅回收再利用。微硅粉（含少量或微量碳化硅）统一收集，经消除反应特性 后转化为矿物性废物（一般性工业废物）

5.2.1.3工艺流程图

切割废浆料（离线）处理处置工艺流程见图2。

图2切割废浆料（离线）处理处置工艺流程

螺纹标准5.2.1.4工艺控制参数 5.2.1.4.1碳化硅回收工序 5.2.1.4.1.1 料浆温度：50℃~60℃。 5. 2. 1. 4. 1.2 搅拌时间：30min~60min。 5. 2. 1. 4. 1. 3 碱液（3%～5%氢氧化钠溶液）和固体颗粒的体积比：（3.5：1）～（4.5：1）。 5. 2. 1. 4. 1. 4 碱洗时间：4h~5h。 5. 2. 1. 4. 1. 5 酸液（2%～31%盐酸溶液）与固体颗粒的体积比：（0.9：1）～（1.2：1）。 5. 2. 1. 4. 1. 6 酸洗时间：4h~5h。 5. 2. 1. 4. 1. 7 水洗：pH6~8。 5. 2. 1. 4. 1. 8 烘干温度：105℃~110℃。 5. 2. 1. 4. 1. 9 烘干时间：60min~90min。

5.2.1.4工艺控制参数 5.2.1.4.1碳化硅回收工序 5.2.1. 4. 1.1 料浆温度：50℃~60℃。 5. 2. 1. 4. 1. 2 搅拌时间：30min~60min。 5. 2. 1. 4. 1. 3 碱液（3%～5%氢氧化钠溶液）和固体颗粒的体积比：（3.5：1）～（4.5：1）。 5. 2. 1. 4. 1. 4 碱洗时间：4h~5h。 5. 2. 1. 4. 1. 5 酸液（2%～31%盐酸溶液）与固体颗粒的体积比：（0.9：1）～（1.2：1）。 5. 2. 1. 4. 1. 6 酸洗时间：4h~5h。 5. 2. 1. 4. 1. 7 水洗：pH6~8。 5. 2. 1. 4. 1. 8 烘干温度：105℃~110℃。 5. 2. 1. 4. 1. 9 烘干时间：60min~90min。

5.2.1.4.2聚乙二醇回收工序

5.2.1.4.2.1吸附脱色温度：料浆温度50℃60℃。 5.2.1.4.2.2吸附脱色时间：60min~120min。 5.2.1.4.2.3蒸馏脱水温度：105℃~110℃

5.2.1.4.2.1吸附脱色温度：料浆温度50℃~60℃。

5.2.1.4.2.1吸附脱色温度：料浆温度50℃60℃ 5.2.1.4.2.2吸附脱色时间：60min~120min。 5.2.1.4.2.3蒸馏脱水温度：105℃~110℃

2.1.5主要生产设备

切割废浆料（离线）处理处置碳化硅回收工序和聚乙二醇回收工序主要设备包括： a）加热搅拌装置、板框压滤机、四道循环压滤装置、悬流分离装置、底流筛分装置、带式过滤 机、烘干机及筛分收集系统等； b）聚乙二醇脱色装置、板框压滤机、树脂交换装置、微孔过滤器、蒸馏脱水装置等

5.2.1.6各工序处理效果及计算

各工序处理效果按附录A计算，并符合下列要求： a）成品碳化硅回收率不小于88%； b）成品聚乙二醇（含用于切片回用）回收率不小于98%。

5.2.2切割废浆料（在线）处理处置

5. 2. 2. 1 方法提要

切割废浆料（在线）先分离出规定米 二醇及废浆料（在线）。废浆料（在线）经固液分离，液相经蒸馏、汽提后得到成品聚乙二醇，固 相统一收集，经消除反应特性后转化为矿物性废物 股性工业废物）

5. 2. 2. 2 工艺流程简述

废浆料（在线）经螺旋沉降离心，分离出粒度符合切割砂浆要求的碳化硅，收集回用。不符合切 割要求的废砂浆再经压滤，得到聚乙二醇及含少量碳化硅的聚乙二醇微硅粉浆，微硅粉浆经四道循环 玉滤使固液分离，液相聚乙二醇经脱悬分离、树脂交换、微孔过滤及蒸发脱水得到成品聚乙二醇。成 品聚乙二醇处理过程产生的固体废物（废活性炭、废树脂及浆渣）收集后交相关单位处理处置。 微硅粉（含少量碳化硅）统一收集，经消除反应特性后转化为矿物性废物（一般性工业废物）

5. 2. 2 3工艺流程图

废浆料（在线）处理处置工艺流程见图3。

HG/T59622021

5. 2. 2. 4 工艺控制参数

5.2.2.4.1吸附脱色温度：料浆温度50℃~60℃ 5.2.2.4.2吸附脱色时间：60min120min。 5.2.2.4.3蒸馏脱水温度：105℃~110℃。

5.2.2.4.1吸附脱色温度：料浆温度50℃~60℃。

5. 2. 2. 5 主要生产设备

废浆料（在线）处理处

切割废浆料（在线）处理处置的主要设备包括：四道循环压滤装置、聚乙二醇脱色装置、板框压 滤机、树脂交换装置、微孔过滤器、蒸馏脱水装置

5.2.2.6各工序处理效果及计算

成品聚乙二醇回收率不小于95%，按附录A计

硅片切割废液（浆）处理处置过程中） 产工艺中。不能达到循环使用要求的，应进行无害化处理处置，若排放应符合GB8978的要求。

硅片切割废液（浆）处理处置过程中产生的废气，应采用专业的喷淋吸收等，进行无害化处理，

排放应符合GB16297的要求。

硅片切割废液（浆）处理处置过程中产生的废渣，应按GB5085.7的规定进行鉴别，并符合下 列规定： a）经鉴别属于危险废物，应根据自身条件进行深度无害化处理，或交由有资质的专业危险废物 处理机构进行处理； b）经鉴别属于一般固体废物，应按GB18599的要求进行处理，

硅片切割废液（浆）处理处置过程中产生的废渣，应按GB5085.7的规定进行鉴别，并符合下 例规定： a）经鉴别属于危险废物，应根据自身条件进行深度无害化处理，或交由有资质的专业危险废物 处理机构进行处理； b）经鉴别属于一般固体废物，应按GB18599的要求进行处理。

A.1回用水不溶物含量的测定

用量筒量取250mL回用水，精确至1.0mL。用预先于105℃土2℃下干燥至质量恒定的滤机 为5μm～15μm的玻璃砂埚抽滤，用60mL热水（约60℃）分3次洗涤残渣，然后连同玻理 于105℃±2℃下干燥至质量恒定

A.1.2试验数据处理

用水不溶物含量的质量分数W1，按公式（A.1)

干燥至质量恒定后回用水不溶物和玻璃砂埚的质量的数值，单位为克（g）； 干燥至质量恒定后玻璃砂的质量的数值，单位为克（g）； V 量取回用水的体积的数值，单位为毫升（mL）

水利技术论文A.2成品碳化硅回收率

成品碳化硅回收率W2；按公式（A.2）计算：

一含微硅粉的碳化硅的质量的数值，单位为克（g）； 1 微硅粉的质量的数值，单位为克（g）

A.3成品聚乙二醇回收率

成品聚乙二醇回收率w3，按公式（A.3）计算

V一固液分离得到聚乙二醇（浓度折百）的体积的数值ppp，单位为毫升（mL）； V1——经脱悬分离、树脂交换、微孔过滤及蒸发脱水得到成品聚乙二醇的体积的数值，单位为毫 升(mL)。

V 固液分离得到聚乙二醇（浓度折百）的体积的数值，单位为毫升（mL）； V1——经脱悬分离、树脂交换、微孔过滤及蒸发脱水得到成品聚乙二醇的体积的数值，单位为毫 升（mL）。