多晶炉的加 多晶炉加热元件的引出部分

水冷系统应能使炉壳的筒体、封头的表面温升不超过5.3.6的规定；采用全水冷的电源装置（一般 应采用可循环冷却水），在水压不足或压力过高时应有指示或报警信号，关键水冷部位还应具备超温报 警信号。各路冷却水路应装设开关，以便调节流量方便维修。 对水冷系统水质的要求如下： a) pH值6~9； b) 氯离子浓度≤10mg/L； c) 碳酸钙浓度≤50mg/L（不加人化学试剂）； d) 悬浮物≤10mg/L; e)溶解氧量≤10 mg/L

多晶炉的抽气系统由真空机组、管道 系统、真空计等组成。系统中应设置安全阀门，在 发生停电事故时应能自动关闭管道，以防

多晶炉的充气系统通常是由气体流量控制单元来实现，并应具备安全防爆装置，在多晶炉产品技

灌溉水质标准GB/T 10067.4162019

参数中可具体规定不同的充气压力数值。

5.2.9 测量、控制和记录

5.2.9.1一般要求

多晶炉的测量、控制和记录应符合GB/T10067.4一2005中5.2.9（除5.2.9.6以外）的各项规定和 5.2.9.2~5.2.9.11的规定

5.2.9.2控制装置

多晶炉应配备专门的控制柜，用来安装仪器、仪表和控制元件等。控制系统应配备速度控制单元 温度控制单元及功率部件、晶体生长控制器、冷却水温度显示、报警、运行状态报警装置和继电控制单 元等，

5.2.9.3炉温控制系统

多晶炉的炉温控制系统应具有自适应和自调节控制功能。对温度控制器如有不同要求可按

5.2.9.4真空仪表

配备真空检测仪器，用来测量0.1Pa～10000Pa

5.2.9.5晶体生长控制器

多晶炉应配备晶体生长控制器，以实现熔化、长晶、冷却等过程的全自动化。在多晶炉产品技术参 中应具体规定硅锭的允许偏差

5.2.9.6加热系统

多晶炉的加热系统通常是由变压器、电缆、电极、加热器、上部保温板、隔热保温笼、定向凝固块、下 保温板等部分构成，主要完成对多晶硅原料的加热熔化、定向凝固生长、原位退火、冷却等工艺过程

5.2.9.7自动化水平

多晶炉应采用计算机控制。产品的主要技术功能（速度控制、温度控制等）应完善可靠；辅助技术功 能（晶体计长、过程监控诊断等）应配置齐全。整个铸锭工艺过程可为用户提供使用方便，人机交互界面 友好，软件功能强大，实现铸锭工艺过程自动化控制或实现网络群控的软件

5.2.9.8报警和保护装置

多晶炉的运动部件应具有超程报警和保护装置，对长晶过程中有可能发生的漏硅和漏水事故应设 计预防装置。

5.2.9.9环境保护

多晶炉及零部件生产过程中的环境空 2012和GB16297—1996的规定

5.2.9.10污水排放

多晶炉及零部件生产过程中的污水排放应符合GB8978一1996的规定。

生产、配套零部件和使用过程噪声应符合GB12：

在工作温度范围内，多品炉应能够满足晶体生长

5.3.4空炉抽气时间

多晶炉的压升率应不超过6Pa/h

多晶炉炉体的表面温度应不超过35℃

5.3.7加热能力和热炉抽气能力

在炉温和多晶料都等于环境温度条件下，把质量等于熔料量的多晶料盛人，并装人炉内，启动 抽气系统。当炉内达到预定真空度时开始加热。应在具体产品技术参数中规定从冷态上升到硅料熔化 温度所需时间。

6.3.8运动参数相对偏差和速度百分偏差

多晶炉在其速度控制系统的调速范围内，各项运动参数的实际测量值与指示计的指示值（或显示 直)的相对偏差应不大于5%；各项运动参数的速度百分偏差应不大于2%；各运动机构运转应工作灵 活，在正常铸锭工艺条件下应无明显振动

多晶炉的保温罩部件以低速（速度范围下限）上升（或下降）作相对运动时的爬行量应在晶体炉产 术参数中具体规定

多晶炉的铸锭功率能耗应在晶体炉产品技术参数中注明

多晶炉其他方面的性能应分别符合5.2以及在具体产品技术参数和供货合同中的相应规定。

GB/T 10067.4162019

在具体产品中应列出供方规定的多晶炉成套供应范围，一般包括下列各项： a) 多晶炉主机； b) 控制装置； c) 加热电源； 加热及保温系统； e) 电源电缆； f) 抽气机组各组件； g) 充气装置； h) 钢结构平台及楼梯； i) 选配部件，如晶体移出机构等； j) 备件。 在具体产品标准中可对上述项目做必要的补充，并应列出各个项目的具体内客 量。 需方如对供方规定供应的项且有不同要求，可按9.2提出

GB/T10066.1—2019中9.11.3的规定

6.3额定加热功率的检查

多晶炉使用的石墨加 收 电流之比.为发热体电阻.其 电源的额领定功率输出

6.4加热能力和热炉抽气能力试验

本试验的目的在于测定多晶炉的加热能力和热炉抽气能力，并检验多晶炉的热炉运行情况。 进行加热能力试验，把炉温设定在最高工作温度上，当炉室真空度达到6.5Pa时开始加热，并根据 品标准中规定的升温程序，把炉温升到设定值，保温30min，加热开始后在产品标准规定的时间内炉 温应达到设定值，炉室应在5.3.3规定的时间内达到规定的工作真空度。 停炉后应按GB/T5959.1一2019的18.5.2进行检查

6.5运动参数相对偏差的测量

在规定的速度范围内，保温罩部件处于某一（任意选定）位置，取某一（任意设定）速度（指示计指示 直或显示值），用秒表和百分表（或千分表）测量该速度下保温罩部件上升（或下降）速度。测量5次，取 平均值。相对偏差按式（1）计算： 相对偏差一 指示值（或显示值） ·（1）

[6.6速度百分偏差的测量

在规定的速度范围内，保温罩部件处于某 （任意选定）位置，用秒表和百分表（或千分表）每间 nin测量某一（任意设定）速度下保温罩部件上升（或下降）速度。测量5次，取平均值。速度百分 按式（2）计算：

在保温罩部件以低速（速度范围下限）上升（或下降）做相对运动时，用千分表或用光栅爬行仪测 运动停顿到重新启动的最大蹦跳间隔数值

将经过处理好的多晶硅料盛人璃中 增璃中的装料量等于熔料量。在正常铸锭工艺条件下，

6.9环境排放污染测量

对于环境中的油、气、水的排放，运行噪音和电磁辐射等按国家有关标准执行。

多晶炉的检验应按7.2和7.3以及GB/T10067.1一2019中第7章进行

多晶炉的出厂检验项目包括： a) 触电防护措施的试验； b) 绝缘电阻的测量； c) 绝缘耐压的试验； d) 控制电路试验； e) 运动机构运转情况的检验； f) 运动参数及相对偏差的测量（包括速度百分偏差的测量和爬行量的测量）； g) 水路系统的试验； h) 气路系统的试验； i) 联锁报警系统的试验； j) 极限真空度的测量； k） 空炉抽气时间的测量； 压升率的测量； m）配套件的检查，包括型号、规格和出厂合格证件的检查； 供货范围，包括出厂技术文件完整性的检查； 0）包装检查

无损检测标准规范范本GB/T 10067.4162019

多晶炉的型式检验项目包括： 全部出厂检验项目（在型式检验条件下）； o) 空炉升温时间的测量； 额定功率的测量； 最高工作温度的测量： 受热构件表面温升的测量； f) 加热试验（加热能力与热炉抽气能力的检查）； g) 工作真空度的测量； h) 工业铸锭试验； ) 水流量的测量； ) 气体耗量的测量； k) 运动机构运转情况或动作情况的热态试验； 热态试验后的检查

8标志、包装、运输和购存

除另有要求外（见9.2），多晶炉的铭牌上应标出下列各项： a) 产品的型号和名称； b) 电源电压，V； c) 电源频率，Hz； d) 相数； e) 额定功率，kW； f) 工作电压，V； g) 熔料量，kg； h) 主机质量，t； i) 产品编号； j) 制造日期； k) 出口产品中英文对照； 1) 制造厂名称（对出口产品应标明国名）

多晶炉的订购与供货应按GB/T10067.1一2019中第9章的规定。

需方有下列特殊要求时暖通标准规范范本，可向供方提出：

需方有下列特殊要求时，可向供方提出：

a）对单位制、电源电压、电源频率等的不同要求（见GB/T10067.1一2019中5.1.3.2）； b）对使用环境的不同要求（见GB/T10067.1一2019中5.1.3）； 要求在水冷系统中提供循环冷却系统或其中部分装置，如机械致冷装置，水冷却塔装置或水净 化装置等；应提出具体技术要求（见GB/T10067.1一2019中5.1.4）； d) 对安全和环境保护的附加要求（见GB/T10067.1一2019中5.3及5.4）； 对涂漆的不同要求（见GB/T10067.1—2019中5.2.9）； f) 对包装的特殊要求（见GB/T10067.12019中8.2）； g) 对电源的不同要求（见GB/T10067.4一2005中5.1.7）； h) 对供方规定项目的不同要求（见5.4）； i) 对加长试验的时间要求（见6.5）； 对铭牌的不同要求（见8.2）。 供方应尽可能满足需方的各项特殊要求，但实际可供需方选择的特殊要求项目由供方参照本部分 时由供需效方商定