软件平台的核心控制部分 理，实现从上下游接收信息，以及向 传递信息的功能。平台端数据库需包含4个重要的数据集（即4个重要要素）：用户信息、产品 防真流程模板和仿真参数集。平台端数据库概念如图2所示，它阐述了信息模型各组件之间的 是本次发布的规范和未来相关规范的基础

图2平台端数据库概念图

图2列出了四个要素以及要素和要素之间的关系。 四个要素包括用户信息、产品信息、仿真流程模 板和仿真参数集信息。要素与要素之间的关系称为公共关联参数集，主要指明四个要素之间互相关联 折需要的信息配电网标准规范范本， 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型示例参见附录A

仿真参数集用于描述仿真过程相关的参数信息，应主要包括： a）仿真模型参数：几何、材料、物性； b）仿真过程参数：仿真边界条件、仿真过程设置条件、仿真输出结果参数； c）仿真过程相关性参数：所属仿真流程、所属产品、所属开发人

5.2.2仿真流程模板

仿真流程模板用于描述定制化的仿真流程信息，应主要包括！

GB/T379592019

仿真过程各模块逻辑关系信息； b) 仿真过程各模块设置参数信息； c) 仿真流程模板对应参数集信息； d) 仿真流程模板对应产品信息； e）仿真流程模板对应所属人信息

仿真过程各模块逻辑关系信息； b) 仿真过程各模块设置参数信息； c) 仿真流程模板对应参数集信息； d） 仿真流程模板对应产品信息； e）仿直流程模板对应所属人信息。

产品信息用于描述仿真过程所涉及的产品具体信息，应主要包括： a）产品层级信息：类别、型号、对应文件； b）零部件信息：规格，对应文件； c）产品所属开发人信息

用户信息模型用于描述用户相关信息，应主要包括： a）用户本身信息：个人信息、权限等级； b）用户与产品、流程模板的关联信息

要素之间的关系称为公共关联参数集，主要描述四个要素之间互相关联所需要的信息，同时还需要 在这些关联参数集之间建立好相应的接口，保证各要素通过关联集内的参数进行交互和沟通。应主要 包括： 用户信息和角色信息的关系、角色信息和权限信息的关系； 产品和零部件关系：一个产品包含多个零部件、一个零部件可挂在多个产品下； 零部件和流程模板关系：一个零件可选择多个流程模板； d） 流程模板和参数集关系：一个流程模板对应多个仿真参数集

5.4.2~5.4.6对信息模型元素对象进行了概念性描述，描述格式说明如下： a）名称：元素的描述性称谓。 D） 类型：数据元素的格式描述。类型包括了元素的最大长度。所有的域均需使用ISO10646规 定的国际字符集。下面是常用类型的含义描述： 1）ID一用来唯一标识一个对象的元素 2）IDRef=对一个ID的引用 3）String（n）=描述性元素 4）Integer=整型元素 5）DATE=日期元素 备注：关于该元素的其他描述信息

4.2产品数据及其信息描述

产品信息描述如表1所示

零部件信息描述如表2所示

5.4.3仿真流程数据及信息描述

流程模板描述如表3所示。

流程模板描述如表3所示。

表3流程模板信息描述

参数集设置信息描述如表

表8仿真参数集设置信息描述

真参数信息描述如表9月

表9仿真参数信息描述

输人参数信息描述如表10所示

表10输入参数信息描述

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输出参数信息描述如表11所示

表11输出参数信息描

工作信息描述如表12所示。

输出结果信息描述如表13所示

表13输出结果信息描述

5.4.5用户数据信息描述

用户信息描述如表14所示。

角色信息描述如表15所示。

权限信息描述如表16所

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含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型示例

石油化工标准规范范本表A1流程模板结构信息

表A.2各模块的参数

图A.1基本分析界面

图A.2优化分析界面

图A.3优化分析结果

电力标准GB/T379592019