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样品可以通过MEMS工艺制备。针对不同的测试材料和器件，可以开发不同的MEMS工艺流程。 图A.1介绍了一种MEMS工艺流程，详细描述如下： a）在Si圆片上沉积氧化物薄膜。 b） 在氧化物薄膜上沉积测试材料薄膜。Au，Mo，SiNr可用作测试材料。可淀积粘合剂层以增 强氧化物薄膜和测试材料薄膜间的附着力。为了最小化测量时的刚度效应，粘合剂层的厚度 一定要谨慎选择。 图形化测试材料薄膜以固定样品的形状。 d） 用氧化物或光刻胶钝化层保护图形化的样品。 制作独立式的薄膜，使用DRIE刻蚀Si基片背面。 f 移除光刻胶或氧化物得到独立式的薄膜

检测标准图A.1样品的工艺流程图

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样品的尺寸可用多种方法进行测量 测量样品的厚度可用台阶仪或AFM（原子力显微镜）测量；样 品的宽度和长度可用电子显微镜甚至光学显微镜测量。为防止薄膜由残余压应力产生屈曲，条带上连 接基片的固定两端的长度即可认为是样品的长度

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附录B （资料性附录） 对准偏差和几何结构对性能测试的影响

在精确对准下的弹性模量和屈服强度误差通过有限元分析进行了估计，并且在图B.1中绘制。 度/厚度比增加时，弹性模量和屈服强度的误差减小了，所估计的特性也比真实特性略小。当长度 度的比值远大于300时，误差小于1%

a）长度和厚度的比值对弹性模量误差影响的有限元分析

图B.1基于1μm厚Au薄膜数据误差的有阻

图B.1基于1μm厚Au薄膜数据误差的有限元

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长度和厚度的比值对屈服强度误差影响的有限元分析

平移和角度的对准偏差分析如图B.2结构所示。基于仿真结果，当平移（d)未对准小于L/100时 发现d对弹性模量和强度的影响小于0.1%。角度对准偏差中，α对结果有着最重要的影响，由α造成 的误差随着宽度B增加而增大。当B/h为10并且α小于1°时，弹性模量和屈服强度的误差小于 0.5%。当β和小于1°时，它们对于弹性模量和屈服强度的影响小于0.1%。 载荷尖端圆角半径对于弹性模量和强度估值的影响也进行了估计。当半径增加时，弹性模量和强 度的误差也增大。强度误差的增长快于弹性模量误差的增长。当半径小于L/50时，误差小于0.5%。

图B.2平移（d)和角度（αβ，)未对准

产生误差的原因主要为热漂移和试验设备的弹簧片刚度锅炉标准规范范本，

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附录C （资料性附录） 纳米压痕仪的测试结果误差及补偿

热漂移是一种常见的造成精密传感： 测量误差的因素。这种误差被认为是测试系统热波动的结 果。为了测试热漂移，在负载控制条件下记录该偏差一段时间，同时样品与形顶部相接触。通过使用 票移数据，修正了带状弯曲试验偏差数据。这是纳米压痕试验常见的补偿手段。由于蠕变与温度漂移 难以区分白砂糖标准，这个补偿不能用于有蠕变特性的样品

图C.1纳米压痕仪的示意图

[1]GB/T228.1一2010金属材料拉伸试验第1部分：室温试验方法 21GB/T3102.3—1993力学的量和单位