GB/T 28855-2012 硅基压力传感器.pdf

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  • 6.2.2外形及安装尺寸

    传感器的外形及安装尺寸应符合产品技术条件(详细规范)的规定

    惑器的电气连接方式应符合产品技术条件(详细

    螺纹标准传感器重量应符合产品技术条件(详细规范)的

    6.3.1输入阻抗(传感器内阻)(适用时)

    6.3.2输出阻抗(适用

    6.3.3绝缘电阻(适用时)

    传感器绝缘电阻应符合产品技术条件(详细规范)的规定。

    6.3.4绝缘强度(介质耐电压)(适用时)

    6.4. 1 零点输出

    传感器的零点输出应符合产品技术条件(详细规范)的规定。

    6. 4. 2 满量程输出

    感器的满量程输出应符合产品技术条件(详细规

    6. 4.3灵敏度输出对称性(适用时)

    传感器测量组件为双结构时,或用单组件结构进行 止负网两不方回测量时, 度搬出对标性 品技术条件(详细规范)的规定。

    6.4.4非线性(适用时)

    表1传感器准确度等级、非线性、符合度、迟滞、重复性

    6.4.5符合度(适用时)

    传感器的迟滞应符合产品技术条件(详细规范)的规定,推荐从表1效值中选取

    传感器的重复性应符合产品技术条件(详细规范)的规定,推荐从表I

    6. 5. 1零点漂移

    传感器在规定时间内的零点漂移应符合产品技术条件(详细规范)的规定。 规定时间推荐选取:4h,8h,24h,72h,96h,120h。 漂移量推荐选取:小于0.05%FS,小于0.1%FS,小于0.25%FS,小于0.5%FS。

    5.2零点长期稳定性(

    在规定的时间周期内,传感器零点长期稳定性应符合产品技术条件(详细规范)的规定

    时间周期推荐选取:28d56d84d168d.336

    6.5.3满量程输出漂移(适用时)

    在规定的时间周期内,传感器满量程输出漂移应符合产品技术条件(详细规范)的规定。 时间周期推荐选取:28d,56d,84d,168d.336d

    专感器在补偿温度范围内的热零点漂移应符合产品技术条件(详细规范)的规定。推荐从表2数

    表2热零点漂移和热满量程输出漂移

    6.6.2热满量程输出漂移

    传感器在补偿温度范围内的热满量程输出漂移应符合产品技术条件(详细规范)的规定 表2数值中选取

    传感器过载能力应合产品技术条件(详细规范)的规定。 当传感器用于双向测量时,产品技术条件(详细规范)应分别给出其正向和负向能承受的最大过载 压力。

    6. 8. 1双向静压

    6.8.1.1最大静压(静压))(适用时)

    于差压传感器,产品技术条件(详细规范)应给出传感器能承受的最大静压压力(简称静压)。 与差压测量范围相关。在承受最大静压压力后,传感器的零点输出变化误差应符合产品技术 细规范)规定。

    6.8.1.2零点静压误差(适用时)

    6.8.1.3量程静压误差(适用时)

    传感器量程静压误差应符合产品技术条件(详细规范)的规定。

    专感器量程静压误差应符合产品技术条件(详细规范)的规定。

    6.8.2单向静压(适用时)

    传感器的单向静压应符合产品技术条件(详细规范的规定

    的单向静压应符合产品技术条件(详细规范)的

    6.9.1频率响应(适用时)

    传感器的频率响应应符合产品技术条件(详细规范)的规定

    传感器的频率响应应符合产品技术条件(详细规范)的规定

    6.9.2谐振频率(适用时)

    专感器的谐振频率应符合产品技术条件(详细规范)的规定。

    6.9.3自振(振)频率(适用时)

    6.9.4阻尼比(适用时)

    6.9.5上升时间(适用

    6.9.6时间常数(适用时)

    6. 9.7 过冲量(适用时)

    专感器的过冲量应符合产品技术条件(详细规范)的规定

    6. 10. 1低温试验

    传感器应符合产品技术条件(详细规范)规定的

    6. 10. 2 高温试验

    后传感器应符合产品技术条件(详细规范)规定

    6. 10. 3 温度变化

    试验后传感器应符合产品技术条件(详细规范)规定的性能要求。

    试验后传感器应符合产品技术条件(详细规范)规定的性能要求

    6.10.5冲击(适用时)

    6.10.6加速度(适用时)

    6. 10. 7 湿热

    传感器应符合产品技术条件(详细规范)规定的

    6.10.8霉菌(适用时)

    6.10.9盐(适用时)

    6.10.10电磁兼容性(适用时)

    试验中及试验后,传感器应符合产品技术条件(详细规范)规定的性能要求。 6.10.11高温电寿命(适用时) 试验中及试验后,传感器应符合产品技术条件(详细规范)规定的性能要求

    6. 11 疲劳寿命

    验后传感器应符合产品技术条件(详细规范)规方

    7.1.1参比大气条件

    传感器的参比大气条件: 温度:20℃±2℃; 相对湿度:65%土10%; 大气压力:86kPa~106kPa

    7.1.2一般试验的大气条件

    当传感器不可能或无必要在参比大气条件下进行试验时,推荐使用下述大气条件: 温度:15℃35℃; 相对湿度:30%~85%; 大气压力:86kPa~106kPa。 注:试验期间允许的温度变化不大于1℃/h。相对湿度范围也可由供需方商定,

    7.1.3其他环境条件

    除上述天气条件外,试验尚应在下述环境条件下进行: 磁场:除地磁场外,无其他外界磁场; 一机械振动:无机械振动。

    被测传感器与激励电源、压力源和读数装置的连接方式.应符合产品技术条件(详细划范)的

    被测传感器应在试验环境下达到温度平衡1h以上。通电预热时间应不小于30min或按产 件(详细规范)的规定。

    用目测方法检查传感器的外观,或用5倍的放大镜进行检查,结果应特合 1的规完

    7.3.2外形及安装尺寸

    用卡尺、干分尺、分表、标准规或其他标准量具仪器检测传感器的外形及安装 6.2.2的规定。

    、十分尺、干分表、标准规或其他标准量具仪器检测传感器的外形及安装尺寸,结果应符合 定。

    测方法检查传感器的电气连接,结果应符合6.

    7.4.1输入阻抗(传感器内阻)

    传感器不含有源器件时,将传感器输出端开路,测量其电源端的阻抗,结果应符合6.3.1的规定 传感器包含有源器件时,在传感器电源端加激励电压,输出开路,测量供电回路电流,按公式( 人阻抗,结果应符合6.3.1的规定。

    7. 4. 2输出阻抗

    传感器不合有源器件时,直接测量其输出端的阻抗,结果应符合6.3.2的规

    GB/T28855—2012

    专感器包含有源器件时,可采用以下方法: 保持输人的压力值不变,分别测量压力传感器在输出开路和并联R,负载下的输出电压, 2)计算。结果应符合 6.3. 2 的规定。

    输出阻抗值,单位为千欧(kQ); YkL——输出端开路时的输出电压,单位为伏(V); YL—带RL负载时的输出电压,单位为伏(V); 并联负裁电阻,单位为于欧(kQ2):推荐使用10kQ电阻。

    Z.4. 3 绝缘电阻

    在被测传感器不施加激励电源的条件下,用绝缘电阻测试仪或相应仪表,给传感器施加产品技术条 件(详细规范)规定的直流电压,测量传感器引出线(应与外壳无连接)与壳体之间的绝缘电阻,结果应符 合6.3.3的规定。

    在被测传感器不施加激励电源的条件下,用绝缘强度测试仪在传感器引出线与壳体之间,施加产品 技术条件(详细规范)规定的交流电压,持续时间为1min或按详细规范的规定,应无击穿和飞弧现象, 结果应符合6.3.4的规定。

    传感器在符合7.2规定条件下,给传感器施加不少于3次的满量程压力预压,使被测传感器压力升 到测量上限值,待压力稳定后降压至测量下限值。然后在传感器测量上、下限的全量程范围内选择均匀 分布的5个~11个试验点,测量与输人压力点对应的传感器输出,并且重复三次或三次以上的升、降压 循环。 通过上还试验获得的数据,按附录A的计算方法可确定下列静态性能指标

    7. 5. 2琴点输出

    对绝压传感器,应在输人绝对真空压力时测量传感器的输出值。也可输人不大于10Pa的绝对压 力代替真空,但实际输入的压力应不大于传感器测量允许基本误差绝对值的1/5。否则,应对输出值进 行修正,按公式(3)计算零点输出,结果应符合6、4.1的规定

    Y。一 零点输出,单位为伏(V); Y。一一输人绝对压力不大于10Pa时的输出值,单位为伏(V); b一一校准特性曲线的端点连线的斜率,单位为伏/帕(V/Pa); 输人的绝对压力值,单位为帕(Pa)。 对差压传感器,在高压端和低压端同时通大气时,测量传感器的输出值,结果应符合6.4.1的规定。

    零点输出,单位为伏(V); 输人绝对压力不大于10Pa时的输出值,单位为伏(V); 校准特性曲线的端点连线的斜率,单位为伏/帕(V/Pa); 输人的绝对压力值,单位为帕(Pa)。 差压传感器,在高压端和低压端同时通大气时,测量传感器的输出值,结果应符合6.4.1的规

    定计算,结果应符合6.4.2的规定,

    7.5.4灵敏度输出对称性

    在传感器双测量结构的两端,如差压传感器的高压端和低压端分别测试灵敏度输出,或者使用单组 件结构进行正反两个方向压力测量时,分别测量传感器的正压段和负压段灵敏度输出,按公式(4)进行 计算,结果应符合6.4.3的规定,

    FS(n) 式中: pd 灵敏度输出对称性; Yrs(h) 高压端(或量程正压段)灵敏度输出值; Yes(I) 低压端(或量程负压段)灵敏度输出值

    式中: pd 灵敏度输出对称性; Yrs(h) 高压端(或量程正压段)灵敏度输出值; Yrs(I) 低压端(或量程负压段)灵敏度输出值

    胺附录A.4的规定计算传感器非线性结果应符合6.4.4的规

    按GB/T18459—2001中3.9规定计算传感器符合度,当参比曲线为刻度方程时,按附 算符合度,结果应符合6.4.5的规定。

    录A5的规定计算传感器的迟滞,结果应符合

    胺按附录A.6的规定计算传感器的重复性,结果应符合64.7的规守

    7. 6. 1 零点漂移

    按产品技术条件(弹细规范)规定的条件,在不加载荷的条件下,每隔1h记录一次传感器的零点输 出,试验时间从6.5.1中选取,按附录A.8的规定计算零点漂移结果应符合6.5.1的规定

    7.6.2零点长期稳定性

    按产品技术条件(详细规范)的规定的条件,对传感器施加电压激励,每天通电不少于2h,在规定 时间周期内均匀选取不少于5个间隔点,每个间隔点进行一次8h的试验,试验前应恒温通电1h,记录 间隔为1h,试验期间工作温度应保持在20℃士2℃。按附录A.9的规定,计算传感器零点长期稳定 性,结果应符合6.5.2的规定。

    “品技木条件(详细规范)规定的条件,在规定时间周期内均匀选取不少于5个间隔点,按规定 隔记录传感器的满量程输出,按附录A.10的规定,计算规定时间内满量程输出的最大差值相

    满量程输出的百分比,结果应符合6.5.3的规完

    将传感器放入高、低温试验箱,分别在室温、补偿温度范围下限温度、补偿温度范围上限温度各恒温 产品技术条件(详细规范)规定的时间,记录各温度点的零点输出值,按附录A.11的规定,计算热零点 漂移,结果应符合6.6.1的规定

    7.7.2热满量程输出漂移

    将传感器放人高、低温试验箱,分别在室温、补偿温度范围下限温度、补偿温度范围上限温 产品技术条件(详细规范)规定的时间,记录各温度点的满量程输出值,按附录A.12的规定 量程输出漂移,结果应符合6.6.2的规定。

    在试验的大气条件下,按产品技术条件(详细规范)规定施加过载负荷,保持时间不少于1min,然 后卸载至零负荷,重复3次,恢复5min,然后按产品技术条件(详细规范)规定的检验项目进行检测,结 果应符合6.7的规定。 当单组件传感器用于双向压力测量时,应对传感器的负向和正 注注得热设

    7.9. 1 双向静压

    7.9.1最大静压(静压)

    7.9.1.2零点静压误差

    对差压传感器的高压端和低压端都通大气,测量传感器的输出值。 将产品技术条件(详细规范)规定的静压压力源,同时施加到传感器高压端和低压端,保持5min 测量传感器的输出值。零点静压影响按公式(5)计算,结果应符合6.8.1.2的规定

    式中: po 零点静压影响; Y。(p)施加静压时的零点输出值; Y。 一一试验前无静压时的零点输出值 Yrs 一静态校准的满量程输出值

    po 零点静压影响; Y。(p)施加静压时的零点输出值; Y。 一一试验前无静压时的零点输出值; Yrs 一静态校准的满量程输出值

    7.9.1.3量程静压误差

    量程静压误差是指在给定静压下,量程输出变化量相对于满量程输出值的百分比。试验 感器的测量范围下限输出值和测量范围上限输出值海洋标准,其差值为满量程输出值。对传感器两端

    GB/T288552012

    的测量范围下限压力和测量范围上限压力,其差值为最大静压压力影响下的满量程输出值。满量程静 压影响按公式(6)计算。 对传感器两端同时施加产品技术条件(详细规范)规定的50%的静压压力,保持5min。在此基础 上在传感器高压端分别施加传感器的测量范围下限压力和测量范围上限压力,其差值为50%静压压力 影响下的满量程输出值。满量程静压影响按公式(6)计算。 取两种静压压力对应的计算结果的最大值,结果应符合6.8.1.3的规定,

    对差压传感器高压端施加产品技术条件(详细规范)规定的止向静压压力,保持5min。卸载 10min后,按7.5.2的规定,进行零点输出试验。结果应符合6.8.2的规定。 再对低压端施加产品技术条件(详细规范)规定的负向静压压力,保持5min。卸载10min后,按 7.5.2的规定,进行零点输出试验。结果应符合6.8.2的规定。

    7. 10. 1 试验方法

    7. 10. 1. 1瞬态激励法

    将传感器与激波管或快速开后 负压传感器用爆破膜片发生器产生一个负的阶跌压 力信号,以上阶跃压力的上升时间应是传 被预测的上升时间的三分之一或更短。当激励装置产生 一个阶跃压力信号时,用瞬态记录仪器记录传感器的响应波形

    钢结构标准规范范本7.10.1.2正弦激励法

    对于5kHz以下的频率,10MPa以下的峰值动态压力,可用正弦压力发生器直接测得传感器的频 率响应,如果传感器本身的谐振频率在正弦压力发生器的频率范围之内,还可得到压力传感器的谐振频 率、阻尼比和响应时间等。采用正弦激励法时,一般采用相对比较法进行测试,即在正弦压力发生器上 安装标准传感器,其动态性能指标要高于被测压力传感器动态性能指标的5倍~10倍。 激波管动态压力试验方法,正弦压力校准检定方法的详细操作按JJG624一2005的规定。 通过上述试验方法,可确定下列动态性能

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