JC/T 1048-2018 单晶硅生长用石英坩埚

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  • 采用分度值不大于0.02mm的游标卡尺测量石英璃端口的外径,测量点不少于3个且分布均匀。 外径最大值减去标称外径所得代数差为外径上偏差,最小值减去标称外径所得代数差为外径下偏差。外 径最大值减最小值所得的差值为圆度公差。

    H约10mm处 壁壁厚,测量点不少于4个且分布均匀。最大值减去标 所得代数差为直壁壁厚上偏差,最小 值减去标称直壁壁厚所得代数差为直壁壁厚下偏差。 享最大值减最小值所得差值为偏壁值,

    6.1.3弯弧壁厚偏差

    采用精度不低于0.01mm的超声波测厚仪等同精度的测量器具,测量石英埚弯弧处的壁厚,测量 点不少于4个且分布均匀。最大值减去标称弯弧壁厚所得代数差为弯弧壁厚上偏差,最小值减去标称弯 弧壁厚所得代数差为弯弧壁厚下偏差

    试验、检测与鉴定6.1.4底部壁厚偏差

    采用精度不低于0.01mm的超声波测厚仪等同精度的测量器具,测量石英埚底部的壁厚,测量 于4个。最大值减去标称底部壁厚所得代数差为底部壁厚上偏差,最小值减去标称底部壁厚所得 为底部壁厚下偏差。

    JC/T 10482018

    将石英增璃底部向上放置于准确度不低于2级的 平台上,测量石英璃底部最高点到平台的距离, 测量点不少于3个且分布均匀。高度最大值减去标称 高度所得代数差为高度上偏差,最小值减 数差为高度下偏差

    用去离子水将石英埚端口润湿,采用分度值不大于0.02mm的游标卡尺测量石英埚端口 明层厚度,测量点不少于4个且分布均匀,取最小测量值为端口处透明层厚度;并计算其与直壁 的比值。

    按GB/T3284中规定的方法进行检验。

    从石英直壁上切取约50mm×50mm原壁厚试样3块,内表面无外观缺陷,切口处磨平。用体积 分数为10%~15%盐酸溶液浸泡试样约10min后,用去离子水冲洗。将试样放入高温炉中,于(1200 土5)℃下恒温6h,随炉自然冷却至室温后取出试样,目测观察内表面是否有析晶白点。在检测过程中 不得触摸试样内表面

    从石英埚直壁上纵向切取约180mm×20mm原壁厚试样3块,表面无外观缺陷,切口处磨平,试 样的宽度差小于2mm。用体积分数为10%~15%盐酸溶液浸泡试样约10min后,用去离子水冲洗。将 跨距为130mm的耐热支架放入高温炉内,试样水平放置在耐热支架上,并在试样中部放置(2.0土 0.2)g(直径为15mm~25mm,长度为10mm~20mm)的石英半管,使试样与石英半管接触面积最小。于(1500 土10)℃下恒温1h,随炉自然冷却至室温后取出试样。分别测量3块试样的拱高变化量AH,用△H除 以130mm为变形率,以百分数表示,结果保留至一位小数,取最大值为测量结果,

    分为出厂检验和型式检验。

    包括尺寸偏差、端口透明层厚度和外观质量。

    IC/T 10482018

    IC/T 10482018

    有下列情况之一时,应进行型式检验: a)新产品投产或产品定型鉴定时; b)正常生产时,每一年进行一次; c)原材料或工艺等发生较大变化,可能影响产品质量时; d)产品停产6个月以上恢复生产时; e)主要生产设备进行较大维修后。

    以同批原料、相同工艺、6个月内生产的同规格石英埚为一批

    尺寸偏差、端口透明层厚度 从尺寸偏差、端口透明层厚度和外观 质量均合格的产品中抽取一只进 和耐热性检验

    7.3.5.1尺寸偏差、端口透明层厚度和外观质量

    JC/T 10482018

    端口透明层厚度符合要求,判该批产品端口透明层厚度合格。若不合格产品数大于或等于表4中相 应不合格判定数时,则判该批产品端口透明层厚度为不合格。 外观质量符合要求,判该批产品外观质量合格。若不合格产品数大于或等于表4中相应不合格判定 数时,则判该批产品外观质量为不合格。

    7.3.5.2杂质元素含量

    7.3.5.3抗析晶性

    7. 3. 5. 4 耐热性

    耐热性符合要求,判该项目为合格。当耐热性不符合要求时,允许重新抽样一次,进行试验 洁果符合要求,判该项目为合格,否则为不合格,

    7.3.5.5综合判定

    全部项目均符合要求装修设计教程,判该批产品为合格,否则为不合格

    8标志、包装、运输和贮存

    产品出厂时应附产品合格证,注明产品名称、类别等产品标记。 包装箱上应有储运标志,如“小心轻放”、“向上”、“玻璃制品”、“防潮”、“堆码层数极限” 等字样或图形以及厂名或商标。

    石英埚应在不低于10万级净化条件下,用抗静电塑料薄膜等材料封装,然后装入包装箱内 装箱内四周及上下应加缓冲隔离物

    装、卸、运过程中应防止雨淋、轻拿轻放,不能

    产品应按类别、规格分类贮存在无有害气体、王燥、洁净的室内。注意防压损

    资料范本品应按类别、规格分类贮存在无有害气体、干燥、洁净的室内。注意防压损。

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