JCT597-2011 半导体用透明石英玻璃管
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石英玻璃管在1200℃土5℃下保温20min,置于20℃士5℃的空气中冷却,试验3次,不应出现裂 纹、缺口或崩落(切、磨口处长宽小于3m、深度小于1/3壁厚的断面崩落不计)。
5. 3. 4热变色性
商业标准JC/T5972011
石英玻璃管在1200℃土5℃下保温2h,在290nm波长处热处理前、后的透射比变化平均值△T应 小于等于4%。
离管在1400℃±5℃下保温6h,析晶层平均厚
5. 3. 6 高温变形
石英玻璃管在1200℃土10℃下保温24h,直径小于120mm的管材变形率应小于等于 于等于120mm的管材变形率应小于等于6%
6.1规格尺寸及尺寸偏差
对石英玻璃管外径、壁厚、椭圆度、偏壁度等规格尺寸的测量,采用分度值不大于0.02mm 量具进行检验。石英玻璃管的长度采用分度值为1mm的钢直尺或钢卷尺测量。
6.1.2外径偏差与椭圆度
则量石英玻璃管两端及中部的外径,同一截面上测量点不少于3个。取测量数据中的最大值 所得代数差再除以公称外径为外径上偏差,最小值减公称外径所得代数差再除以公称外径为 同一截面最大值减最小值所得的差值除以公称外径,取三个截面中最大值为椭圆度值。
6.1.3壁厚偏差与偏壁度
测量石英玻璃管两端壁厚,同一截面上测量点不少于3个。取两组数据中的最大值减公称壁厚所得 代数差再除以公称壁厚为壁厚上偏差,最小值减公称壁厚所得代数差再除以公称壁厚为壁厚下偏差。同 一截面上最大值减最小值所得的差值除以公称壁厚,取两个截面中最大值为偏壁度值。
沿长度方向测量最长处、最短处。
转动石英玻璃管,用分度值 mm的塞尺测量石英班
将石英玻璃管平行放于两支额定功率不低于36W荧光灯下,石英玻璃管与光源距离不超过600mm 采用黑色衬底,进行目测检验,必要时可用分度值不大于0.02mm的游标卡尺等进行测量。 各种气线及有外形轮廓的外观缺陷大小按GB/T5949的规定检验,
按GB/T3284的规定检验。
按GB/T12442的规定检验。
按GB/T4121的规定检验,按公式(1)、公式(2)计算290nm波长处热处理前、后的透射比 值。
按附录A中规定的试验方法进行。
按附录B中规定的试验方法进行。
产品检验分为出厂检验和型式检验
包括规格尺寸及尺寸偏差、外观质量
同种原料、相同工艺生产的同种规格的石英玻璃管为一批。
JC/T5972011
石英玻璃管的规格尺寸及尺寸偏差、外观质量检验按表5进行随机抽样。
7.2.4.1单项判定
规格尺寸及尺寸偏差符合要求,判该批产品规格尺寸及尺寸偏差合格。若不合格产品数大于等于表 5中相应不合格判定数时,则判该批产品规格尺寸及尺寸偏差为不合格。 外观质量符合要求,判该批产品外观质量合格。若不合格产品数大于等于表5中相应不合格判定数 时,则判该批产品外观质量为不合格。
7. 2. 4. 2 综合判定
及尺寸偏差、外观质量均符合要求,则判该
在下列情况下进行型式检验: a)新产品投产或产品定型鉴定时:
b)正常生产时,每年进行一次; c)原材料或工艺等发生较大变化,可能影响产品质量时; d)产品停产6个月以上恢复生产时: e)国家质量监督机构提出进行质量监督抽查时。
按7.2.2的规定。
7.3.4.1规格尺寸及尺寸偏差、外观质量抽样
按 7. 2.3 的规定。
7.3.4.2理化性能抽样
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尺寸及尺寸偏差、外观质量检验合格的石英玻璃管中随机抽取1支~3支进行理化性能检验。
按 7. 2. 4. 1 给出的要求。
按 7. 2. 4. 1 给出的要求。
7.3.5.2理化性能的判定
各项理化性能均符合要求,则判该批产品理化性能为合格。有一项不符合要求,则该性能 批产品理化性能为不合格。
7.3.5.3综合判定
8标志、包装、运输和贮存
.1.1每批产品出厂时应附有产品合格证书,内容包括: a)产品分类(T或D)、产品名称; b)产品规格; c)生产批号; d)标准代号: e)检验员编号。 B.1.2包装箱上应有储运图示标志,如“玻璃制品”、“小心轻放”、“请勿倒置”、“防潮”等字 样或图形以及产品标记、厂名或商标。
产品在洁净环境下先单支包装,包装应满足防护、防尘的要求,避免产品的划伤、破损及污染。单 支包装后如需再集装时,包装也应满足防护、防尘的要求。产品包装随箱放入产品合格证及装箱单。装 箱单应注明数量或重量、装箱日期等,
在运输及搬运过程中要注意轻拿轻放,应有
产品应贮存在无有害气体、干燥清洁的室内。注意防压损
IC/T 5972011
石英玻璃在一定高温条件下会出现析晶现象,本方法通过测定试样在高温下保持一定时间后表面析 晶层的厚度来表征石英玻璃抗析晶性,
外径25mm以下的石英玻璃管,切取长度25mm整管试样3段。外径25mm以上的石 取弦长25mm、长度25mm的试样3块。试样均为原壁厚。
A. 2. 2 块状试样
切取长度25mm、宽度25mm、原壁厚的试样3块。
切取长度25mm、整棒试样3块。 上述试样表面不另外加工,切口处用金刚砂(W10)磨平,不能有崩口
使用温度不低于120℃
更用温度不低于120℃
A. 3. 2高温电炉
使用温度不低于1400℃,电炉必须具有双层炉膛,内炉膛为高纯三氧化二铝材料制成。电炉 ±1℃。24h内稳定在±5℃。炉温均匀,温差不大于±10℃。
A. 3.3 测量显微镜
测量精度不低于5μum,放大倍数为100
测量精度不低于5um,放大倍数为100
底石英埚等,不加盖,放在炉膛内底部用以
JC/T5972011
A.4.1试样于体积分数为0.1的化学纯氢氟酸溶液中浸泡15min,取出用自来水冲洗20s,然后再用 去离子水冲洗15S。把洗净的试样用夹子(非金属材料)取出放在垫有清洁纱布的干燥培养血中(纱布和 培养血均用去离子水洗净、烘干烘干。在整个操作过程中不得用手直接触摸试样。 A.4.2将处理干净的试样放入已恒温1400℃的高温炉试样容器中,在1400℃下恒温6h(恒温期间电 炉温度波动不得大于土5℃)。炉温冷却低于700℃后,打开炉门用埚钳夹住试样容器将试样取出,将 试样放入石蜡与松香混合溶液(石蜡与松香的质量比约为4:1),使之表面裹上薄层保护蜡,取出。 A.4.3将试样两端用金刚砂(W10)磨抛光滑平整,再用汽油等有机溶剂洗掉样品表面的保护蜡。
1将每块试样分别放在测量显微镜下测量析晶层厚度,每块试样测量点不得少于10个。管状 试样每个点同时测量出内层、外层析晶层厚度,按公式(A.1)、公式(A.2)计算,棒状试样的机 按公式(A.2)计算。
Zu μ= (A.2)
式中: 一一测量点的数量: μ一一每块试样析晶层的平均厚度,单位为微米(um)。 每块试样析晶层平均厚度保留一位小数。 最终结果取3块试样析晶层平均厚度的平均值,精确到整数位。 A.5.23块试样的析晶层厚度测量值偏差大于其中最大值的30%时应重新取样、试验。但重检次数不 得超过3次。
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附录B (规范性附录) 石英玻璃管高温变形性能试验方法
名英玻璃管在高温下,由于管体软化因自身的重力而产生变形,测量石英坡璃管在高温下保持一定 时间后的变形量。
从石英玻璃管上切取长20mm土0.5mm的环状试样3段
B.3. 1 高温电炉
分度值不低于0.02mm。
照明标准B. 3. 3 无水乙醇
石英玻璃圆环,高度约为25,圆环直径应能够保证稳当地支撑试样并使试样距离炉膛底部不小 于10mml
B.4.1将试样编号,用游标卡尺测量并记录试样的外径,同一截面上测量点不得少于3个,取平均值 为试样试验前的外径。 B.4.2用无水乙醇将试样擦净,再用去离子水冲洗后,用脱脂纱布擦净待用。将试样如图B.1所示置 于支架上,放入1200℃恒温的电炉中,保温24h。
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铁路图纸图B.1试样与支架的位置关系
炉温自然冷却低于500℃后,取出试样,待试样冷却后,测量每个试样的外径变化(长轴,短轴 并记录。
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