为有效利用空间、缩短工作流程，对大到整个厂区的建筑物布 局、地下管线规划，小到一栋建筑物内部各个专业间的配置协调而 进行的设计。

3.0.1发光二极管工厂设计应满足发光二极管产品生产工艺要 求，并应根据具体情况为今后生产发展或生产工艺改进的需要预 留条件。

屋面标准规范范本保的新技术、新设备、新材料

行、维护管理创造条件

4.1.1 发光二极管工厂工艺设计应符合下列规定： 1 采用效率高的生产工艺； 提高工艺流程的合理性； 3采用经济、适用的工艺参数； 4 具有适度的灵活性和适应性 4.1.2工艺设计应满足工艺生产的要求，并为产品的规模化生 产、升级改造预留下列条件： 1工艺设备数量增加、工艺设备占地面积增加所需要的面积 条件； 2 工艺设备变更、工艺设备高度增加所需要的空间条件； 3工艺设备变更、工艺设备数量增加所需要增加的动力条件。 4.1.3 生产线的产能设计应符合经济规模要求，当生产线需分期 实施时，工艺设计中应预留动力条件。 4.1.4工艺设计应明确生产环境和动力供应要求，并应满足生产 工艺和设备正常运行的要求。主要工序生产环境要求可按照附录 A执行。 4.1.5工艺设计应明确工艺生产动力品质要求。发光二极管生 产工艺动力品质要求可按照附录B执行。

4.1.1发光二极管工

产工艺动力品质要求可按照附录B执行。

4.2基本工序与生产协作

4.2.1生产的基本工序应根据产品的生产工艺确定。

1生产的基本工序应根据产品的生产工艺确定。生产工

4.2.2生产的主要工序宜完整，辅助生产工序可通过外协方式 完成。

和运营设施、劳动安全、职业卫生和环境保护等管理、检测、教育和 培训设施的设计要求。

4.3.1生产厂房内的工艺功能区应依据生产的工艺流程，按照生 产的基本工序进行划分，相同的工序宜集中布置。典型的工艺流 程可按照附录C设置。

4.3.2生产厂房内的工艺区应分别设置人员出入口

4.3.3工艺平面布置应设置设备搬入口和设备搬入通道

4.4.2生产设备宜根据工艺流程集中布置，并考虑设备搬运、维 修空间。

4.4.3金属有机化合物化学气相沉积设备及其辅助设备宜集中

沉积设备的辅助设备的布置方式，应符合现行国家标准《建筑设计 防火规范》GB50016和《特种气体系统工程技术规范》GB50646 的有关规定。

5.1.1发光二极管工厂的厂址选择应按建设规模、原材料供应、 供电、供水、供气、工程地质和企业协作条件、场地现有设施、环境 保护等因素进行技术经济比较后确定

5.1.2厂址选择应符合下列

1避免生产的危险或有害因素对周边人群居住或活动环境 造成污染与危害； 2 避开空气经常受悬浮物污染的地区： 3 场地应相对平整，距外界强振源较远。 5.1.3 厂址不应选择在下列地区： 1 易受洪水、潮水、内涝威胁的区域； 2 工程地质、水文复杂的地带和地震设防烈度高于9度的 地区； 3 采矿陷落（错动）区界限内； 重要的供水水源卫生保护区： 5IV级自重湿陷性黄土、厚度大的新近堆积黄土、高压缩性 的饱和黄土和血级膨胀土等工程地质地区； 6有用矿藏地区。

5.2.1发光二极管工厂总体规划，应符合所在地区的区域规划、 城镇规划的要求。

2.2总平面布置应符合下列

主厂房宜根据生产工艺特点和各种功能区的要求，按组

式、大体量的综合性厂房布置； 2厂区内生产区、动力辅助区、仓储区和办公、生活区等功能 区域应合理布置； 3有微振控制要求的洁净厂房总平面布置时，应考虑邻近存 在较大振动的振源对精密设备、仪器的振动影响； 4工厂的动力设施宜集中布置并靠近工厂的负荷中心； 5厂区人流和物流的出入口宜分开设置，原料物料的运输路 线应短捷、方便，避免人流和物流之间的混杂和交义。 5.2.3厂区给水、排水、循环水及动力电缆等管线宜选用地下敷 设方式：厂区易燃可燃液体、燃气、热力、压缩空气及保护气体通 言信号电缆等管线宜选用地上管架敷设方式：地上、地下管线的布 置应符合现行国家标准《工业企业总平面设计规范》GB50187的 有关规定。 一

6.1.1发光二极管工厂可由生产厂房、动力厂房、化学品库、气 站、仓库及办公楼等建筑组成。 6.1.2生产厂房的建筑平面和空间布局，应根据生产工艺、工艺 改造和扩大生产规模的要求确定。 6.1.3生产厂房围护结构材料的选择应满足生产对环境的气密、 保温、隔热、防火、防潮、防尘、耐久、易清洗等要求。外围护结构及 节点部位的内表面温度不应低于室内空气露点温度。 6.1.4技术夹层、技术夹道应满足各种风管和各种动力管线安 装、维修要求。穿越楼层的竖向管线需暗敷时，宜设置技术竖并， 其形式、尺寸和构造应满足风管、管线的安装、检修和防火要求。 6.1.5厂房的平面布局和构造处理，宜避免人流、物流运输及防 火对洁净生产环境带来不利的影响。生产辅助部门等与生产密切 联系的部门应尽量靠近生产区。 6.1.6厂房内宜设置工艺设备、动力设备的搬入及运输安装通 道；通道宽度应满足人员操作、物料运输、设备安装、检修的要求。 6.1.7厂房室内装修应符合现行国家标准《建筑内部装修设计防 火规范》GB50222和《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472的 有关规定。

1 发光二极管工厂建筑的耐火等级不应低于二级。 2金属有机化合物化学气相沉积间的火灾危险性分类在 下列条件时应按丙类，否则应按甲类设防：

1 设备密闭性良好：

筑设计防火规范》GB50016和《电子工业洁净厂房设计

筑设计防火规范》GB50016和《电子工业洁净厂房设计规范》 GB50472的有关规定

防火规范》GB50016和《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472 的有关规定。

厂房安全出口的设置、安全疏散距离应符合现行国家标准

6.2.5厂房安全出口的设置、安全疏散距离应符合现行国

《建筑设计防火规范》GB50016和《电子工业洁净厂房设计规范》 GB50472的有关规定

6.2.6危险化学品储存区域和分配区不得设置在人员密集

疏散走廊的上方、下方或贴邻；特气间、气体纯化间等有爆灯 性房间应靠外墙布置，房间泄压面积应符合现行国家标准《建 计防火规范》GB 50016 的有关规定。

6.2.7易燃易爆化学品储存间、分配间，应采用不发生

7.1.1发光二极管工厂光刻机等精密设备基础应满足微振动控 制的要求。

7.I.I发光二极管工厂光刻机等精密设备基础应满足微振动控 制的要求。 7.1.2产生较大振动的设备基础宜远离光刻机等精密设备区域： 当无法远离时，对产生较大振动的设备应采取有效的隔振措施。 7.1.3生产厂房工艺生产区的结构不宜设置伸缩缝

体系： 1 单层排架结构体系； 2 单层门式刚架钢结构体系； 3多层框架结构体系； 4 多层框排架结构体系。 7.2.2 精密设备基础宜避开厂房柱基础；无法避开时，应考虑厂 房柱基础沉降引起精密设备基础的地基变形计算。 7.2.3光刻机等精密设备基础在首层的微振动控制应根据其特 性，采取防微振措施，并应符合下列规定： 1首层应做钢筋混凝土地面，厚度不宜小于250mm； 2设备基础厚度不宜小于800mm，并应与首层的钢筋混凝 土地面连为一体： 3有冲击荷载的设备应远离光刻机等精密设备，且宜在有冲 击荷载设备的周边设置隔振沟； 4精密设备的基础安全等级应不低于二级

自层应做钢筋混凝土地面，厚度不宜小子250mm； 2设备基础厚度不宜小于800mm，并应与首层的钢筋混凝 土地面连为一体； 3有冲击荷载的设备应远离光刻机等精密设备，且宜在有冲 击荷载设备的周边设置隔振沟； 4精密设备的基础安全等级应不低于二级

7.2.4楼层和屋顶的普通设备基础应符合下列规定：

7.2.4楼层和屋顶的普通改备基础应付合下列规定： 1不宜采用整片的钢筋混凝土基础，宜根据设备支承点位置 采用钢筋混凝土支墩或钢筋混凝土条形基础； 2设备基础不应跨越伸缩缝； 3设备基础宜布置在柱顶、主梁或次梁上。 7.2.5应考虑楼层上设备的布置范围和运输安装区域的荷载，并 对受此荷载影响的梁、柱和基础根据正常使用极限状态和承载能 力极限状态的要求进行验算。

7.2.6生产厂房楼层、屋顶应按照实际吊挂的管道、吊

法等，计算吊挂荷载标准值，但不宜小于0.50kN/m。

据水管的重量和吊挂点的间距验算预埋件的承载力。

8.1.1发光二极管工厂人工冷热源宜采用集中设置的冷（热）水 机组和供热、换热设备。机型和设备选择，应根据工厂所在地区的 气候、能源结构、政策、价格及环保规定，按下列规定综合比较 确定： 1热源应优先采用城市、区域供热和工厂余热； 2、具有城市工业燃气供应的地区，可采用燃气锅炉、燃气热 水机组供热或燃气吸收式冷（热）水机组供冷、供热； 3工厂也可采用燃煤锅炉、燃油锅炉供热，电动压缩式冷水 机组供冷或燃油吸收式冷（热）水机组供冷、供热； 4在夏热冬冷地区的办公楼、生活区可采用空气源热泵或地 源热泵冷（热）水机组供冷、供热。 8.1.2同时需要供冷和供热时，冷水机组宜根据负荷要求选用热 回收机组，并采用自动控制的方式调节机组的供热量。 8.1.3冷热源设备台数和单台容量应根据全年冷热负荷工况合 理选择，并应保证设备在高、低负荷工况下均能安全、高效运行。 8.1.4过渡季节或冬季需用一定量的供冷负荷时，可利用冷却塔 作为冷源设备。 8.1.5在满足工艺及空调用冷冻水温度的前提下，应加大冷冻水 供、回水温差和提高冷水机组的出水温度。 8.1.6当冷负荷变化较大时，经过经济技术比较，冷源系统的部 分或全部设备宜采用变频调速控制。 8.1.7电动压缩式冷水机组的装机容量应符合现行国家标准《工 业建筑供暖通风与空气调节设计规范》GB50019的有关规定，

8.1.9燃油燃气锅炉应选用带比例调节燃烧器的全自动锅炉，且 每台锅炉宜独立设置烟，烟卤的高度应满足项目环境评价文件 的要求，并应符合现行国家标准《锅炉大气污染物排放标准》 GB13271的有关规定。

8.2.1大宗气体管道系统设计应符合下列规定：

1大宗气体的供气方式应根据气体用量、气体品质和当地的 共气状况等因素，经技术经济比较后确定： 2氢气、氧气管道的终端或最高点应设置放散管，放散管应 引至室外并高出建筑的屋脊1m，氢气放散管道上应设置阻火器； 3洁净室内的氢气管道应明敷，穿过洁净室的墙壁或楼板处 的管段应设置套管，套管内的管道不应有焊缝，套管与管道之间应 采取密封措施； 4氢气管道不得穿过不使用氢气的房间；当必须穿过时应设 套管或使用双层管

8.2.2高纯气体管道设计应符合下列规定：

1管径应按气体容许流量、压力或生产工艺设备确定，管 不宜小于6mm； 2管道布置不应出现不易吹除的“盲管”等死空间；

8.2.3设有氢气等可燃气体装置的气体纯化间或气体入

应靠外墙设置，并应设置防爆泄压设施；

2氢气等可燃气体引入管道上应设置自动切断阀； 3应具有机械通风装置，并应设置事故排风装置； 4 应设置气体泄漏报警装置，并应与事故排风装置联锁。 8.2.4大宗气体管道和阀门应根据生产工艺要求选择，并应符合 下列规定： 1气体纯度大于或等于99.9999%时，宜采用内壁电抛光的 奥氏体超低碳不锈钢管，阀门应采用隔膜阀、波纹管阀； 2气体纯度大于或等于99.999%、露点低于一76℃时，宜采 用内壁电抛光的奥氏体超低碳不锈钢管或内壁电抛光的低碳奥氏 体不锈钢管，阀门宜采用隔膜阀或波纹管阀； 3气体纯度大于或等于99.99%、露点低于一60℃时，宜采 用内壁抛光的奥氏体不锈钢管，除可燃气体管道宜采用波纹管阀 外，其余气体管道可采用球阀； 4气体管道阀门、附件的材质宜与相连接的管道材质一致。 8.2.5气体管道连接应符合下列规定： 1管道连接应采用焊接，不锈钢管宜采用自动氩弧焊或等 离子熔透对接焊； 2管道与设备或阀门的连接，宜采用表面密封的接头或双卡 套，接头或双卡套的密封材料宜采用金属垫或聚四氟乙烯垫； 3管道与设备的连接应符合设备连接的要求，当采用软管连 接时，应采用金属软管。

8.3.1特种气体应采用外购钢瓶气体、液态气体，在工厂内设置 储存、分配系统

8.3.1特种气体应采用外购钢瓶气体、液态气体，在工厂内设置 储存、分配系统。 8.3.2特种气体储存分配系统设备，应根据特种气体的性质和储 存数量布置在独立的建构筑物内，或布置在生产厂房内

用 8.3.2特种气体储存分配系统设备，应根据特种气体的性质和储 存数量布置在独立的建构筑物内，或布置在生产厂房内。 8.3.3特种气体系统的气瓶柜、气瓶架的设置应符合下列规定：

8.3.2特种气体储存分配系统设备，应根据特种气体的性

不相容气体瓶严禁放置于同一气瓶柜或气瓶架中：

2不相容的特种气体的气瓶架应布置在不同房间里；当布置 在同一房间时，不相容特种气体的气瓶柜、气瓶架之间的距离应 大于6m; 3气瓶柜闭门时的排风换气次数不得低于300次/h，且气瓶 柜应保持负压； 4自燃、可燃、毒性、腐蚀性气瓶柜应在排风出口设置气体泄 漏探测器； 5气瓶柜门应具备自动关闭功能，并应配备防爆玻璃观察 窗；气瓶柜应采取抗震措施，设计应满足当地抗震设防烈度的 要求。 8.3.4可燃、自燃特种气体的气瓶柜应符合下列规定： 1硅烷气瓶柜闭门时的排风换气次数不得低于1200次/h， 且应连续监控气瓶柜的负压； 2自燃特种气体的气瓶柜应设置紫外、红外火焰探测器及水 喷淋系统； 3可燃特种气体的气瓶柜应设置水喷淋系统； 4自燃、可燃特种气体的气瓶柜应在气瓶之间设置隔离 钢板。 8.3.5牛 特种气体系统吹扫氮气的设置，应符合下列规定： 1特种气体系统的吹扫氮气应与独立的氮气源连接，不得与 公用氮气或工艺氮气系统相连； 2不相容性特种气体系统的吹扫氮气不得共用同一氮气源； 3吹扫氮气管线应设置止回阀。 8.3.6 特种气体排气与废气处理的设置应符合下列规定： 1 特种气体系统的排气管应设置氮气稀释与连续吹扫； 2不相容性特种气体的排气不得接入同一排气主管； 3自燃、可燃、毒性、腐蚀性特种气体的排气应经过尾气处理 装置进行处理，排放应符合现行国家标准《大气污染物综合排放标

2不相容的特种气体的气瓶架应布置在不同房间里；当布置 在同一房间时，不相容特种气体的气瓶柜、气瓶架之间的距离应 大于6m； 3气瓶柜闭门时的排风换气次数不得低于300次/h，且气瓶 柜应保持负压； 4自燃、可燃、毒性、腐蚀性气瓶柜应在排风出口设置气体泄 漏探测器； 5气瓶柜门应具备自动关闭功能，并应配备防爆玻璃观察 窗；气瓶柜应采取抗震措施，设计应满足当地抗震设防烈度的 要求。

窗；气瓶柜应采取抗震措施，设计应满足当地抗震设防烈度的 要求。 8.3.4可燃、自燃特种气体的气瓶柜应符合下列规定： 1硅烷气瓶柜闭门时的排风换气次数不得低于1200次/h 且应连续监控气瓶柜的负压； 2自燃特种气体的气瓶柜应设置紫外、红外火焰探测器及水 喷淋系统； 3可燃特种气体的气瓶柜应设置水喷淋系统； 4自燃、可燃特种气体的气瓶柜应在气瓶之间设置隔离 钢板。 8.3.5 特种气体系统吹扫氮气的设置，应符合下列规定： 1特种气体系统的吹扫氮气应与独立的氮气源连接，不得与

3.4可燃、自燃特种气体的气瓶柜应符合下列规定：

8.3.5特种气体系统吹扫氮气的设置，应符合下列规定：

1特种气体系统的吹扫氮气应与独立的氮气源连接，不得与 公用氮气或工艺氮气系统相连； 2不相容性特种气体系统的吹扫氮气不得共用同一氮气源； 3 吹扫氮气管线应设置止回阀。 8.3.6特种气体排气与废气处理的设置应符合下列规定： 特种气体系统的排气管应设置氮气稀释与连续吹扫； 2不相容性特种气体的排气不得接入同一排气主管； 3自燃、可燃、毒性、腐蚀性特种气体的排气应经过尾气处理

1特种气体系统的排气管应设置氮气稀释与连续吹扫； 2不相容性特种气体的排气不得接入同一排气主管； 3自燃、可燃、毒性、腐蚀性特种气体的排气应经过尾气处理 装置进行处理，排放应符合现行国家标准《大气污染物综合排放标 准》GB16297的有关规定。

七体自通应明教，牙过生 区墙壁与楼板处的管段应设置套管，套管内的管道不得有焊缝，套 管与管道之间应采用密封措施。可燃、毒性、腐蚀性气体管道的机 械连接处，应置于排风罩内

不锈钢无缝钢管，内表面应进行洁净和钝化处理。

自燃、可燃、氧化性特种气体管道，应设置静电泄放的接地

8.3.10室外布置的特种气体管道应架空布置。

SS304奥氏体不锈钢管道，内层管道应与所输送特种气体 匹配。

8.4.1干燥压缩空气系统应根据生产工艺对供气量和供气品质 等因素确定，并应符合下列规定： 1干燥压缩空气系统的供气规模应按生产工艺所需实际用 气量及系统损耗量确定； 2供气设备可集中布置在生产厂房内的供气站或生产厂房 外的综合动力站内。 8.4.2风冷式空气压缩机及风冷式于燥装置的设备布置应防止

8.4.3当干燥压缩空气输送露点低于一76℃时，可采用内 光不锈钢管；当干燥压缩空气输送露点低于一40℃时，应采 钢管或镀锌碳钢管

8.4.4压缩空气系统的管道设计应

1压缩空气主管道的直径应按照全系统实际用气量过 计，支干管道的直径应按照局部系统实际用气量进行设计，

的直径应按照设备最大用气量进行设计； 2干燥压缩空气输送露点低于一40℃时，用于管道连接的密 封材料宜选用金属垫片或聚四氟乙烯垫片； 3当设计软管连接时，宜选用金属软管。 8.4.5工艺真空系统的设计应符合下列规定： 1工艺真空设备的抽气能力应按生产工艺所需实际用气量 及系统损耗量确定； 2工艺真空设备应布置在生产厂房内的一个或多个供气 站内； 3工艺真空设备应选用能耗少、噪声低的设备； 4工艺真空设备应根据工艺系统的实际情况选用水环式或 干式真空泵； 5工艺真空系统应设计真空压力过低保护装置。 8.4.6工艺真空系统的管道设计应符合下列规定： 1工艺真空管路设计应布置成支状系统； 2工艺真空主管道的直径应按照全系统实际抽气量进行设 计，支干管道的直径应按照局部系统实际抽气量进行设计，支管道 的直径应按照设备最大抽气量进行设计； 3工艺真空系统的管道材料宜根据工艺真空系统的真空压 力及真空特性选用不锈钢管或厚壁聚氯乙烯管道； 4当设计软管连接时，宜选用金属软管。 8.4.7 清扫真空系统宜选用移动式清扫真空设备。

· 洁净室的空气洁净度等级以及洁净室形式应根据生产 寸生产环境的要求确定 2洁净室的气流组织应根据洁净度等级、生产工艺要求以 犬经济比较确定

1生产工艺中散发的物质对其他工序的产品质量及人员安 全卫生有影响； 2温湿度基数和允许波动范围差别大的洁净室； 3 净化空调系统和一般空调系统； 4 洁净室内工艺设备发热、散湿量相差悬殊的洁净室； 系统风量过大的净化空调系统。 9.1.4 洁净室内的新风量应取下列两项中的最大值： 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新风量之和； 2 保证供给洁净室内每人每小时的新风量不小于40m。 9.1.5 洁净室与周围的空间应保持静压差，静压差应符合下列 规定： 1 不同等级的洁净室之间的静压差不宜小于5Pa； 洁净室与非洁净室之间的静压差不应小于5Pa； 3 洁净室与室外的静压差应大于10Pa。

9.2供暖、通风与废气处理

1 供暖设计应符合现行国家标准《工业建筑供暖通风与空 设计规范》GB50019的有关规定。

9.2.2洁净室内不应采用散热器供暖。 9.2.3 寒冷和严寒地区各动力站房应根据工艺要求设置值班 供暖。 9.2.4洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备和辅助设备，均 立设局部排风装置，排风罩宜为密闭式。 9.2.5排风系统的设计应符合下列规定： 1金属有机化合物化学气相沉积设备的尾气应设就地处理 装置； 2酸、碱排风应独立设置系统，风机的电机应按一级负荷 供电； 3工艺设备的排风系统应设置备用风机； 4有冷凝液产生的酸、碱排风系统风管宜设置坡度和排液 口，且风管系统应采取防液体渗漏措施； 5金属有机化合物化学气相沉积设备的排风系统应采取防 火、防爆措施； 6酸、碱、硅烷排风系统的风管不应穿越防火墙或通风、空气 调节机房的隔墙和楼板，当必须穿越时，不得设置熔片式防火阀； 7酸、碱排风系统的风机应设在废气处理设备的下风侧； 8工艺设备的排风温度高于60℃时，排风管应设保温措施； 9工艺设备局部排风系统的室外风管应根据当地气象条件 设置防结露保温措施； 10洁净室的排风系统应设置防止室外气流倒灌的措施。 9.2.6废气处理系统的设计，应符合下列规定： 1酸、碱废气不得采用固定床吸附剂方式处理； 2酸、碱废气宜采用淋洗方式处理，处理设备的填料层数、厚 度和喷淋药液循环量应计算确定；处理设备的加药、补水和排污应 采用自动方式；处理设备宜就近设置日用药箱； 3两台及两台以上废气处理设备并联运行时，应在每台设备 的入口设置电动或气动密闭风阀；

1酸、碱废气不得采用固定床吸附剂方式处理； 2酸、碱废气宜采用淋洗方式处理，处理设备的填料层数、厚 度和喷淋药液循环量应计算确定；处理设备的加药、补水和排污应 采用自动方式；处理设备宜就近设置日用药箱； 3两台及两台以上废气处理设备并联运行时，应在每台设备 的入口设置电动或气动密闭风阀：

4寒冷地区或严寒地区使用的淋洗式废气处理装置厂 防冻措施。

9.2.7酸、碱废气经处理后应经排气筒排入大气排气筒高

合环境评估报告的要求，排气筒出口处风速宜大于或等于18m/s， 并应符合现行国家标准《大气污染物综合排放标准》GB16297的 有关规定

9.2.8金属有机化合物化学气相沉积间应设置不低于12次/1 的事故排风。

9.2.9使用氢气房间的吊顶上部应设置通风换气措施，排风量宜 为1次/h～2次/h，吸风口上缘至顶棚平面或屋顶的距离不应大 于0.1m。

宜设置在下部；换鞋柜宜设置局部排风措施；一次更衣间宜设置不 低于5次/h的全室排风系统

9.3.1净化空气调节系统的新风应进行集中处理，新风处理机组 的设置应符合下列规定： 1送风机应采取自动调速措施； 2 空气宜经过粗效、中效、高效过滤器三级处理； 3新风处理机组应有良好的气密性，在工作压力下的漏风率 不得大于1%。

组和干冷却盘管处理，其他洁净室净化空气调节系统的循环风宜 采用循环空气处理机组处理

9.3.3金属有机化合物化学气相沉积间的净化空气调节系统应

9.3.5循环空气处理机组的风机应采取自动调速指

9.3.6空调加热、加湿系统的设计应利于工厂余热的利用

东的利用。 3.7洁净室的送风量，应符合现行国家标准《洁净厂房设计 》GB50073的有关规定。

9.3.8净化空气调节系统的新风吸入口位置，应远离排放有害物

9.3.8净化空气调节系统的新风吸入口位置，应远离排放有害物 或可燃物的排气口。

标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472的有关规定，但当洁 净室采用风机过滤器机组和干冷却盘管处理循环空气时，单向流 和混合流洁净室的噪声级（空态）不应大于70dB（A），非单向流洁 净室的噪声级（空态）不应大于65dB（A）

9.4.1生产厂房中防烟楼梯间、前室或合用前室宜设置自然排烟 设施，当不能满足自然排烟要求时，应设置机械排烟系统。机械排 烟系统的设置应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016 的有关规定。

9.4.2生产厂房中不具备自然排烟的疏散走廊，应设置机械排烟

烟系统，其他车间排烟系统的设置应符合现行国家标准《建筑设计 防火规范》GB50016和《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472 的有关规定。

9.4.4洁净室（区）的排烟系统应有防止室外气流倒灌的

设置旁通管路用于平时巡检

热时，应为具有双层金属板夹保温材料构造的成品保温风管，保温 材料应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的有关 规定，内层金属板的厚度应符合现行国家标准《通风与空调工程施 工质量验收规范》GB50243的有关规定。

10.1.1发光二极管工厂的给水排水设计应符合现行国家标准 《建筑给水排水设计规范》GB50015的有关规定，并应符合下列 规定： 1设有技术夹层的发光二极管工厂，其厂房内的给水排水干 管应敷设在技术夹层内； 2洁净室内不宜穿过与该洁净室无关的给排水管道，当必须 穿过时，应采取可靠的防渗漏、防结露措施。 10.1.2废水管道不宜直接敷设在首层结构板下，当必须直接敷 设时，应采取可靠的防渗漏措施

10.1.1发光二极管工厂的给水排水设计应符合现行国家标准

10.2.1J 应根据生产工艺对水质、水温、水压、水量的要求确定给 水系统。

10.2.4给水、排水管道的管材应符合下列规定：

1给水管道的材质及接口应满足生产工艺对水质、水压、水 温等的要求； 2排水管道的材质及接口应满足生产废水水质的要求，

1U.2.5排水收果系统的设直应付合下列规定： 1 生产废水、生活污水系统应分别设置； 2 不同污染物的生产废水宜分别设置； 3废水与废液应分别设置； 4含有砷及其他重金属污染物的废水应单独设置收集系统 10.2.6 生产废水收集系统宜设置通气管，通气管应高出屋面2m。 10.2.7 雨水系统应符合现行国家标准《电子工业洁净厂房设计 规范》GB50472的有关规定。 10.2.8洁净室（区）内地漏等排水设施的设置，应符合现行国家 标准《洁净厂房设计规范》GB50073的有关规定。 10.2.9厂区化学品存储、分配、收集、卸货区域应设置事故排水 的储存设施。 10.2.10当设有废水收集槽且采用提升泵输送废水时，废水提升 泵宜设置应急备用电源。

10.3.1纯水系统的设计应符合现行国家标准《电子工业洁净） 房设计规范》GB50472的有关规定，并应符合下列规定： 1纯水系统的水质应根据生产工艺的要求确定 2纯水系统供水管网的循环回流水量不宜小于设计供水量 的20%； 3纯水制备系统及供水管网的回收率应根据项目实际情况 确定； 4纯水供给管路系统的布置应确保用水点的水质 10.3.2纯水制备区域的排水管道应确保制水设备瞬时排水能得 到及时排除

D.4.1工艺设备冷却循环水的水质、水温、水压应根据生产设备

10.4.1工艺设备冷却循环水的水质、水温、水压应根据生产设备

10.4.3工艺冷却循环水系统的管材及配件应根据水质

路桥管理及其他10.4.4当工艺冷却水系统的水温要求与管道布置的环境

10.4.5工艺冷却水系统应设置应急备用电源。

10.4.6工艺冷却水的补水水质应满足工艺设备的要求。

10.5.1发光二极管工厂的废水处理应符合现行国家标准《电子 工程环境保护设计规范》GB50814的有关规定，并应符合下列 规定：

10.5.1发光二极管工厂的废水处理应符合现行国家标准《电子 工程环境保护设计规范》GB50814的有关规定，并应符合下列 规定： 1 应根据废水水量、水质及排放标准等确定处理流程； 2 废水处理设施及末端排放宜设置在线监测仪表； 3 处理系统采用的管材宜与收集系统一致。 1L0. 5.2含砷及其他重 立单独设置处理系统

1 应根据废水水量、水质及排放标准等确定处理流程 2 废水处理设施及末端排放宜设置在线监测仪表； 3处理系统采用的管材宜与收集系统一致。

10.6.2消防给水系统的设置应符合现行国家标准《建筑设计防

佰净争全生厂达应设直全内有求性， 2洁净生产区应设置自动喷水灭火系统招标投标，喷水强度不应小于 8L/minm，作用面积不应小于160m；洁净室或洁净区内向下 气流区域内应采用快速反应喷头； 3特种气体站、硅烷站的消防设计应符合现行国家标准《特 种气体系统工程技术规范》GB50646的有关规定。