GB51392-2019 发光二极管生产工艺设备安装工程施工及质量验收标准及条文说明

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    本标准指对安全、节能、环境保护、主要使用功能等起决定性 作用的检验项目。

    本标准指主控项目之外的其他项目。

    路桥管理及其他generalcontrol item

    3.0.1施工单位应按设计文件、设备安装指南或安装说

    定内容进行安装施工;需要设计变更时,应经原设计单位的确认 签证,并应得到建设单位的同意。

    防护措施,作业结束时应及时清理施工现场 3.0.3在洁净区域施工时,应采取保证材料、设备及施工现场清 洁的措施

    3.0.4施工前应根据项目生产工艺流程及特点对工艺设备安装

    3.0.4施工前应根据项目生产工艺流程及特点对工艺设备 进行技术交底并制定施工方案。基本生产工艺流程可按本材 录A执行。

    3.0.5设备安装前应复查基础外形尺寸、坐标位置

    杂物,隐蔽前应经建设单位或监理人员的验收及认可签证,检 格后方可进行封闭,并应有现场施工记录和相应影像资料

    3.0.9在施工过程中或工程竣工验收前,应做好设备、材料及装 置的成品保护。

    应形成书面记录;上道工序未经检验合格,不得进行下道工序 施工。

    4.1.1开箱前的生产设备宜放置在专门的仓库中储存,

    1.1开箱前的生产设备宜放置在专门的仓库中储存,储存 干燥、通风,并应便于搬运;暂时存放在露天的生产设备宜垫 应采取防火、防潮、防雨措施

    4.1.6设备包装开箱应及时按原装箱单清点,当装有震动感应器

    4.2.1 工程所用材料应符合下列规定: 1 应符合设计要求; 2 应有产品合格证: 3 进场应检验,并应做记录。 4.2.2 工程所用材料、设备和装置的装运方式及储存环境应符合 说明书的规定。

    4.2.4厂房内应具备设备安装所需的动力、照明

    地系统设施应通过测试合格

    4.2.5设备基础应满足安装要求

    1设备安装时应预留设备操作、维修空间; 2设备有防微振控制或特别承重要求时,应采取相应的 振或提高承载能力的措施

    5设备布局、位置坐标应符合

    1 施工前应明确设备布局,确认设备布置图纸的准确; 2根据设备布置图确认设备安装基准线

    1施工方案; 2人员、机具进场计划; 3事故应急预案。

    震动感应器及倾斜感应器等运输智能标贴的,标贴应显示正常。 4.3.2设备开箱时应检查下列内容: 1 箱号、装箱清单; 设备的名称、规格型号; 3 设备的技术文件; 4 设备的随机附件、专有工具。 4.3.3 设备开箱宜采用专用开箱工具。 4.3.4 设备箱体不得倒置,有防震、防倾斜要求的,应采取防护 措施。 4.3.5 设备开箱不宜在运输车上开箱。 4.3.6 设备开箱宜从顶板开始,再拆除四面箱板,宜保留设备 箱底。 4.3.7 设备零部件清点后应安全有序存放。 4.3.8 设备开箱后应检查设备外观是否完好无损。 4.3.9 设备开箱检验应做好记录。 4.3.10设备包装材料应做好回收处理,进口设备的木质包装材 料应检疫合格后方可处理

    4.4.1设备搬运应符合下列规定:

    没备搬运应符合下列规定:

    1应规划好搬运路线图,并应标注清楚路障、设备尺寸和重 量等标识; 2 应制定专项方案,并应经过建设单位同意; 3应对作业人员进行技术、安全交底; 4应对作业车辆、工机具及安全防护措施进行全面检查。 4.4.2在搬运设备时,搬运通道应平整、通畅;在整个搬运过程 中,设备应平稳行进。 4.4.3对于有恒温恒湿要求的精密设备,应及时搬入洁净室 (区)。 4.4.4 对于有防微振要求的设备,应采用相应技术措施进行 搬运。 4.4.5i 设备搬运应符合现行行业标准《化工工程建设起重规范 HG/T20201的有关规定。 4.4.6起吊旋转过程中,起重臂、钢丝绳或设备应与架空线缆保 持1m以上安全距离。 4.4.7起吊软包装或无包装的设备时应符合下列规定: 1起吊使用的吊索根据设备重量在满足负荷要求的情况下, 宜采用柔软吊索: 2吊索捆绑位置应避开仪表及结构脆弱部位,起吊时应注意 设备的重心,并应防止设备倾斜跌落; 3起吊区域下方应设置安全隔离及警示标志,设备起吊时严 禁人员进入起吊区域下方; 4设备起吊不宜过高,以能顺利拆除外包装箱底为宜; 5起吊时应控制提升和下降速度,不得产生冲击、碰撞现象: 61 设备起吊过程中,宜采用附缆控制方向。 4.4.8设备从搬入平台、搬入口、气闸室至洁净室(区)安装就位 时,应符合下列规定: 1所经路线的墙壁、墙角、门框、地面应采取保护措施; 2保护的材料不应产尘、集尘:

    设备的重心,并应防止设备倾斜跌落;

    3搬运路线上地面承载能力不满足要求时,应做好加固工 作,加固材料应符合洁净室使用要求; 4需拆除门框或墙板时,拆除后应做好保护并应及时恢复; 5进入洁净区的设备、机具等装置应进行洁净处理

    3搬运路线上地面承载能力不满足要求时,应做好加固工 作,加固材料应符合洁净室使用要求; 4需拆除门框或墙板时,拆除后应做好保护并应及时恢复: 5进入洁净区的设备、机具等装置应进行洁净处理

    5.1.1设备进场应由施工单位、监理单位、建设单位代表共同验 收,设备包装箱应无损坏,设备型号、规格、数量应无误,装箱清单、 产品质量合格证、性能检测报告及产品说明书等随机文件、附件应 齐全,进口设备还应有商检合格证明文件,并应形成验收记录

    5.1.4设备接地系统应与厂房接地系统连接良好,需要单独接地

    5.1.7设备配备气体泄漏报警装置的,安装单位应根据技大

    5.2.1当MOCVD设备搬人洁净间并在事先规划的位置

    1当MOCVD设备搬入洁净间并在事先规划的位置集成就

    时应水平调整定位,所有设备模块的水平度应优于0.5mm

    5.2.2设备四周应保留天于1m的维修保养空间。在规划设备 安装位置时应满足设备厂商对保留空间的特殊要求。 MOa证#产

    5.3芯片制作设备安装

    5.3.1蒸发镀膜设备的安装应符合下列规定: 1 设备冷却水流量、压力、温度、水质应符合设备技术文件 要求; 2 工艺气体管道及管道部件应使用SUS316L(不锈钢 材料; 3 设备尾气接口应接人厂房相应的废气处理系统。 5.3.2等离子体增强化学的气相沉积法(PECVD)设备的安装应 符合下列规定: 1工艺气体管路及真空管路应正确接入; AHSAN

    3设备冷却水流量、压力、温度、水质应符合设备技术文件 要求; 4设备工艺用的每一类特种气源应由满足技术文件要求的 独立气源接口接入,其接口应符合对应气体的特种要求,并应在接 口附近设置气路手动截止阀。 5.3.3反应离子刻蚀机的安装应符合下列规定: 1 可通过调节四个地脚螺栓高度来调平承片台; 2 设备尾气接口应接入厂房相应的废气处理系统; 3设备压缩空气应由满足技术文件要求的气源接口接入,气 源接口应满足设备用气量要求,气源接口应能承受不小于 0.5MPa的气源压力; 4设备工艺气管道及管道部件应使用SUS316L材料: 5设备循环冷却水流量、压力、温度、水质应符合设备技术文 件要求; :6刻蚀电极应独立安装循环冷却水系统,水压、水温、水质应 满足设备使用要求。 5.3.4 匀胶设备的安装应符合下列规定: 可调节四个地脚螺栓高度使匀胶承片台水平; 应设置与工艺线排风管道口相连接的接口; 3 高速旋盘上方应安装可靠的防护罩: 4 工作台应设有减振装置: 5 自动滴胶系统的安装、储胶罐的接口密闭情况及胶阀的气 压应符合要求; 6断电保护装置应运行正常。 5.3.5曝光机的安装应符合下列规定: 1设备安装前应定制基座用来防震,安装时可通过反复调节 四个地脚螺栓高度使得曝光机承片台水平,并应用水平仪进行检 测确认;

    3设备冷却水流量、压力、温度、水质应符合设备技术文件 要求; 4设备工艺用的每一类特种气源应由满足技术文件要求的 独立气源接口接入,其接口应符合对应气体的特种要求,并应在接 口附近设置气路手动截止阀

    5.3.5曝光机的安装应符合下列规定:

    3.5曝光机的安装应符合下孕

    1设备安装前应定制基座用来防震,安装时可通过反复 四个地脚螺栓高度使得曝光机承片台水平,并应用水平仪送 测确认; 2设备配备二级过滤和二级调压气阀的,安装压缩空

    先接人二级过滤阀,再接入二级调压阀,最后再接入设备

    5.3.6显影设备的安装应符合

    1可通过调节四个地脚螺栓高度,使得真空吸盘呈水平状 态,并应用水平仪进行测试和确认; 2显影腔的排风系统应与厂房内相应的排风系统相连接; 3应正确接入压缩空气、氮气及真空三种气路,以及冲洗用 纯水管路; 4设备应具备排废液管道,废液管应接入相应的废液处理 系统。

    5.3.7抛光机的安装应符合

    1 可通过调节四个地脚螺栓高度来调平抛光台; 2 抛光废液应回收处理,抛光废液管应接入相应的废液处理 系统。

    5.4芯片封装设备安装

    5.4.1芯片粘片机的安装应符合下列规定: 1设备放置到固定工位之前不得拆卸固定块: 2设备在拆卸固定块后,工作组件可顺畅地移动到工作范围 的任意位置而不会自行滑动到某个位置。 5.4.2共晶焊机的安装应符合下列规定: 1设备放置到固定工位之前不得拆卸固定块; 2设备在拆卸固定块后,工作组件可顺畅地移动到工作范围 的任意位置而不会自行滑动到某个位置:; 3 安装导轨时应调整到滑动运行自如; 4 操纵部件应灵活,可稳定吸取或夹取相应的器件。 5.4.3 引线键合机的安装应符合下列规定: 1设备放置到固定工位之前不得拆卸固定块; 2设备在拆卸固定块后,工作组件可顺畅地移动到工作范围 的任意位置而不会自行滑动到某个位置;

    设备放置到固定工位之前不得拆卸固定块; 2设备在拆卸固定块后,工作组件可顺畅地移动到工作 任意位置而不会自行滑动到某个位置

    设备放置到固定工位之前不得拆卸固定块; 2设备在拆卸固定块后,工作组件可顺畅地移动到工作 任意位置而不会自行滑动到某个位置;

    3 安装导轨时应调整到滑动运行自如。 5.4.4 倒装焊机的安装应符合下列规定: 1 设备电源接入应符合要求; 2 倒装焊机外壳应接地; 3 设备应配置压缩空气、工艺真空、氮气三种气源接口,以及 个水源接口。

    5.4.5丝网印刷机的安装应符合下列规定:

    1由机械手上片的丝网印刷机应确保吸片头的各个明 整在同一水平面上; 2设备安装后应检测印刷工作台的平面度,确保达到享

    1由机械手上片的丝网印刷机应确保吸片头的各个吸盘调

    5.5.1探针测试设备的安装应符合下列规定:

    1设备应远离产生腐蚀性气体、液体或有较强振动、电磁干 扰的其他设备; 2 设备安装后应保证摄像头不与任一可动部件运行时相触碰; 3 设备安装环境应有恒湿措施。 5.5.2 激光测厚仪的安装应符合下列规定: 1 测厚仪的工作台应放置于稳固、防振桌面并应固定; 应逐一调节地脚螺栓,将测量工作台调至水平。 5.5.3 X射线检查仪的安装应符合下列规定: 1设备应远离产生腐蚀性气体、液体或有较强振动、电磁干 扰的其他设备; 2应检查各丝杠导轨是否有润滑油,若没有则应及时补充; 3设备的射线防护设施应安装准确并设置防辐射警示设施

    1设备应远离产生腐蚀性气体、液体或有较强振动、电 扰的其他设备; 2应检查各丝杠导轨是否有润滑油,若没有则应及时花 3设备的射线防护设施应安装准确并设置防辐射警示

    1设备二次配管配线作业应在设备安装完成、找平、调平关 合格后进行,并应复核设备的接口位置、种类、数量、尺寸、

    验收合格后进行,并应复核设备的接口位置、种类、数量

    5.6.2二次配管配线的材料选择应符合下列规定:

    1二次配管配线的材料应满足设备技术说明的要求,无明确 要求时应与主系统一致; 2氧气管道、管件、垫片及其他附件都应脱脂; 3洁净室内的电气配管宜采用外表面光滑的金属管,与设备 连接采用的穿线软管应为不燃材料; 4特种气体、大宗气体、纯水和化学品系统的二次配管配线 应符合现行国家标准《特种气体系统工程技术规范》GB50646、 大宗气体纯化及输送系统工程技术规范》GB50724、《电子工业 纯水系统设计规范》GB50685和《电子工厂化学品系统工程技术 规范》GB50781的有关规定。

    纯水系统设计规范》GB50685和《电子工厂化学品系统工程技术 规范》GB50781的有关规定。 5.6.3二次配管时应根据现场实际情况对图纸进行空间整合设 计,不应在操作面布置管线,还应符合下列规定: 1当管线穿越吊顶、壁板、地板需要开孔时,开洞位置应避开 梁、柱、主龙骨、封口。开洞应用开孔器,不得凿或火焰切割。 2开洞过程中应用中央真空清扫系统或洁净室专用吸尘器 不间断地吸除切屑及粉尘,并应符合现行国家标准《微电子生产设 备安装工程施工及验收规范》GB50467的有关规定。 3管线安装完成后,可采用不锈钢、铝、硬PVC或镀锌密封 牛封堵洞口空隙,并应用硅胶密封。 5.6.4从配管连接到新安装设备时,应从一次配管上预留阀门后 接至设备相应接口,不得在一次配管上新开三通接管。 5.6.5高纯介质二次配管应先在专设的防尘、防静电的洁净小室 内预制成组件,再搬入洁净厂房安装,洁净小室的洁净度不应劣于 6级。 5.6.6输送大宗气体、非腐蚀性溶剂的不锈钢管,当采用焊接连

    5.6.3二次配管时应根据现场实际情况对图纸进行空间整合设

    5.6.6输送大宗气体、非腐蚀性溶剂的不锈钢管,当采月

    配线应符合下列规定: 1施工中进行焊接等产烟火作业时,应采取相应的防护措 施,配备相应的消防工具; 2生产区和安装区之间应采取临时隔离措施; 3垂直作业时应采取安全隔离措施,并应设置危险警示 标识。 5.6.9二次配管安装完成后,管道可与一次管道系统一并进行压 力试验,并应符合下列规定: 1试验介质应采用高纯氮气或高纯氩气,其纯度不得低于管 道工作介质纯度; 2不宜采用水压试验; 3试验用压力表宜采用专用管道压力测试记录仪,当采用普 通压力表时,其精度不应低于1.5级; 4管道设计压力小于0.6MPa时,试验压力应为设计压力的 1.15倍; 5管道设计压力大于或等于0.6MPa时,应按设计文件规定 试压,并应采取安全措施。 5.6.10二次配管压力试验完成后应脱开设备用情性气体进行冲 (吹)洗。冲(吹)洗气体的纯度不应低于管网输送介质的纯度。 5.6.11二次配管施工完成后应进行质量检验,并应按本标准附 录B表B.0.2记录。二次配管压力试验和冲洗时,应按本标准附 录B表B.0.3记录。

    5.7.1生产设备安装工程质量主控项目应符合下列规

    5.7.1生产设备安装工程质量主控项目应符合下列规定:

    1生产设备安装工程质量主控项目应符合下列规定 1设备安装的平面坐标位置应符合设计要求; 2垫板安装位置应准确、接触应紧密、无松动现象;

    3防位移、防倾倒的压板设置方向应正确、紧固牢靠; 4特殊基础上平面水平度、安装水平度应符合要求,调整水 平度的螺脚均应与垫板紧密接触; 5设备安装的水平度、垂直度应符合设备安装使用说明书的 要求; 6二次配管的管材、管件、阀门应符合设计要求,并应有产品 合格证和产品质量证明书; 7管线布置和走向应符合设计要求; 8管道的对接焊缝处及曲管处不得焊接支管,焊缝距起弯 点、支吊架边缘应大于50mm; 9二次配管压力试验应符合本标准第5.6.10条的相应 要求; 10二次配管冲(吹)洗按本标准第5.6.11条的规定进行,用 洁净白绸布检查,无污染物应为合格; 11二次配线的电线、电缆规格、型号应符合图纸要求,绝缘 相序应符合设备技术文件,并应符合现行国家标准《建筑电气工程 施工质量验收规范》GB50303的有关规定; 12接地连接应正确可靠,并应符合现行国家标准《电气装置 安装工程接地装置施工及验收规范》GB50169的有关规定 5.7.2生产设备安装工程质量一般项自应符合下列规定: 1 设备安装用的垫板表面应无尘无油,每组不应超过三块。 2 设备跨壁板安装的密封应严密。 3有坡度要求的管道,其坡度应符合设计规定。 4管材、附件和阀门用螺纹连接时,其螺纹应清洁规整、无断 丝乱丝;镀锌件的镀锌层应无锈斑;螺纹接口填料应无外露。 5法兰连接应符合下列规定: 1对接应同心、平行、紧密开应与管中心线垂直; 2)衬垫的材质应符合设计要求,且不应超过一层; 3)螺栓露出螺母的长度宜一致,以露出三个螺距为宜。

    6 不锈钢管与碳钢支吊架、管卡之间的隔离应无遗漏。 阀门安装应符合下列规定: 1)型号、规格应符合设计要求; 2)进出口方向应正确; 3)手轮朝向应合理。

    6 不锈钢管与碳钢支吊架、管卡之间的隔离应无遗漏。 阀门安装应符合下列规定: 1)型号、规格应符合设计要求; 2)进出口方向应正确; 3)手轮朝向应合理

    6.0.1设备单机调试及试运转应在设备安装和二次配管完成,并 应经检验合格后进行。设备单机调试及试运转应由建设单位组织 实施,设备单机调试及试运转结论应有记录并应符合本标准附录 B表B. 0.7、表B. 0.8的要求。

    6.0.2设备试运转应具备下列

    1设备应安装完毕并自检合格; 2设备所需各种气体动力配管配线应已与设备接通,各种介 质的各项参数符合设备使用要求; 3给水、排水,排气、排风管路应已与设备接通; 4电气线路相位应正确,接线端子连接应牢固、可靠,器件接 线应正确,无短路、断路现象; 5接地应正确,连接牢固、可靠,接地电阻应符合设备要求; 6房间洁净度,温、湿度,照度,静电防护指标应测试合格; 7室内各项安全设施和消防设施应满足使用要求。 6.0.3 镀膜机试运行应符合下列规定: 1待溅射基板应清洗,并应在烘干后安装到机内的载片 台上; 2设备通电后应检查设备操作软件是否工作正常: 3应检查各个运动部件是否正常,并应对各个运动部件进行 位置校正; 4应安装好溅射靶材,靶对机壳的绝缘电阻不得小于1M2; 5应检测设备管路接口是否漏气,具备加热功能的管路应先 空载烘烤; 6启动机械泵、分子泵、低温泵时,运行状态应正常,噪声、振

    1应检查紧急按钮是否有效; 2启动真空泵时真空室真空度可在规定时间内降到规定值 极限真空度不应天于5Pa; 3设备工艺反应腔漏气率不应大于1.5Pa/min; 4应根据设备要求设置高纯氮气或氮气等保护气体流量,并 应向炉内通入保护气体进行吹扫; 5应在抽气正常的情况下通入工艺气体,运行淀积程序进行 淀积时,应定期检查工艺气体和保护气体流量。

    4应将基片放到刻蚀腔室承片台上,应关闭腔室并设置好工 艺气体流量、射频电源电压、刻蚀时间,进行刻蚀工艺。 5设备应具备光学发射光谱法终点检测系统。 6.0.6 匀胶设备的试运行应符合下列规定: 1 应准备好光刻胶、基片等材料及相应的工具; 2元 运行设备,设备自动开合旋涂盖功能、涂胶单元真空吸附 功能应正常; 3涂胶功能、顶针上下运动功能、加热部件真空吸附功能应 正常,涂胶台应润滑良好; 4应设置好胶阀压力、滴胶时间、旋涂转速、旋涂时间和热板 温度; 5应分别设定烘烤温度为60℃、120℃和180℃,待温度稳定 后,应在加热器表面200mm范围内选择中心点及外圆周上与X 轴、Y轴相交的四点等五处进行温度测量,然后计算平均值,所测 各点的温度值与平均值相比较时,允许偏差为土1.5%; 6应分别用手动模式和自动模式进行旋涂操作,其他参数应 保持一致。 6.0.7曝光机的试运行应符合下列规定: 1曝光系统应具有光强调节装置,光源调节应灵活可靠,曝 光均匀性应随分辨率要求而定; 2打开曝光机汞灯预热30min后,应用紫外线测量仪测量 承片台上、下、左、右、中五处的光刻强度,均匀度允许偏差为士5%, 并应根据测量强度设置好光刻能量; 3准备工作做好后应进行接触式或投影式光刻,光刻后应及 时显影; 4激光光路及曝光光源必须安装保护装置。

    1曦光系统应具有光强调节装置,光源调节应灵活可靠,曦 光均匀性应随分辨率要求而定; 2打开曝光机汞灯预热30min后,应用紫外线测量仪测量 承片台上、下、左、右、中五处的光刻强度,均匀度允许偏差为5% 并应根据测量强度设置好光刻能量; 3准备工作做好后应进行接触式或投影式光刻,光刻后应及 时显影:

    6.0.8显影设备的试运行应符合下列规定:

    1 应先连接好显影液供应管道、去离子水管道; 2开机后应设置好工艺液体的温度和喷头喷溅压力;

    3应设定好真空吸盘旋转速度、显影时间、漂洗时间、冲洗时 间以及主轴转速,并应进入工艺设置选项设置好试运行工艺步骤; 4应按设定的参数和工艺步骤进行自动显影、清洗操作; 5进行显影、漂洗和烘干工序操作时基片均应有氮气保护, 工艺结束后应自动进行氮气吹干和高速甩干; 6设备运行时应无震动和噪声。 6.0.93 抛光机的试运行应符合下列规定: 1应准备好抛光液、待抛光专用测试样片,并将循环水及抛 光液溃入系统; 废液处理系统应工作正常; 3 应调节抛光头及抛光台的转速; 4压力以0.005MPa为一档时,应依次将抛光头压力从 0.005MPa调到0.05MPa,应观测压力传感器测量值,测试结果应 满足设备技术要求; 5 应清洗待抛光基片,并应固定到抛光台上; 6 应设置抛光压力、抛光转速、抛光液滴注流量,运行抛光 程序; 7 应进行磨抛后的样片测试并应满足指标要求。 6.0.10 芯片粘片机的试运行应符合下列规定: 1 吸片、滴注工作模式的切换应确保转换灵活; 应装配吸嘴、滴注针头; 3应调节气压及真空,连接与吸嘴、滴注的浆料罐相连的气 路后试触发,检查气路应符合要求; 4应操纵设备在样品上进行粘接试验; 5操纵部件应灵活,可稳定吸取相应的器件,滴注的粘片胶 应大小一致并调节有效。 6.0.11共晶焊机的试运行应符合下列规定: 1切换焊料吸取、元件拾取模式,应确保转换灵活;

    相连的气路并试触发; 3应调节加热系统的温度,以常用的儿种焊料分别设置共晶 温度,到达设置温度后应用计量合格的温度计测量加热台的实际 温度; 4应设置焊接压力、共晶温度、摩擦频次、摩擦幅度; 5待加热台温度稳定后应打开氮气阀门,调节流量,操纵设 备在样品上进行芯片焊接试验,焊接时吸嘴应避免接触加热件表 面,应能顺畅地完成整个焊接过程。

    1触发打火杆、线夹等部件并移动键合机手柄时应确保运转 灵活; 2应根据设备的要求调节气体压力并试触发线夹,压缩空气 应符合要求; 3应调节加热系统的温度并设置到常用键合温度,到达设置 温度后测量实际温度应达到工作要求; 4应设置键合超声的功率与时间、键合压力; 5操纵设备在样件上进行键合试验,操纵部件应灵活,在设 定参数的状态下可有效键合; 6全自动键合设备应具有断线检测报警、无焊线报警、错误 位置报警和打火失败报警功能; 7全自动键合设备在防误动作保护下,计算机屏幕上的参数 应禁止修改,开关或阀门等不能操作。 6.0.13倒装焊机的试运行应符合下列规定: 1应确认设备后面板上的压缩空气、负压、氮气、水冷管路安 装连接无误后开启所需气路阀门及调节阀;

    5.0.13倒装焊机的试运行应符合下列规定:

    1应确认设备后面板上的压缩空气负压、氮气水冷管路安 装连接无误后开启所需气路阀门及调节阀; 2应打开设备的总电源开关、打开工控机的电源,关上主操 作面板的“开机”开关; 3在系统操作界面运行设备操作软件前应进行初始化直至 系统提示“待机”状态;

    4应在主控界面分别运行并检测机械系统、光路系统、气路 系统、显示系统和加热系统; 5应设置超声时间、超声功率、焊接压力、加热温度,完成对 洋品电路的加工: 6设备应具备热台温度超温报警。 6.0.14丝网印刷机的试运行应符合下列规定: 1设备自检通过后应将网版装入网版槽内,按下锁紧装置 查看网版是否被锁紧; 2应加人焊料并完成印刷的主要工艺参数设置和焊料的 印刷; 3在保证印刷工艺参数设置合理时,应用自动光学检测仪检 查网印质量,印刷图形应完整、边缘应齐整。 0.0.15探针测试设备的试运行应符合下列规定: 1应安装测试专用夹具,并应将待测晶圆通过调节手柄安装 到夹具上; 2启动设备总电源,应正常进入初始化界面; 3 开机后设备应无震动或杂音; 4对配有标准测试板的设备应调入测试文件和校准板进行 坐标系统校准、测试针和摄像头校准; 应进入测试参数设定界面进行测试参数设定; 测试时设备应自动生成并打印出测试结果; 7 应在设定的测试参数基础上对晶圆进行通断验证,并应符 合打印的测试结果。 6.0.16激光测厚仪的调试及试运行应符合下列规定: 1 应仔细观察测量传动轴,运动时应顺畅无异响; 2应根据设备技术要求由专业人员使用计量合格的校准件 进行校准;

    4应在主控界面分别运行并检测机械系统、光路系统、气路 系统、显示系统和加热系统; 5应设置超声时间、超声功率、焊接压力、加热温度,完成对 样品电路的加工: 6设备应具备热台温度超温报警。 6.0.14丝网印刷机的试运行应符合下列规定: 1设备自检通过后应将网版装入网版槽内,按下锁紧装置, 香看网版是否被锁紧; 2应加人焊料并完成印刷的主要工艺参数设置和焊料的 印刷; 3在保证印刷工艺参数设置合理时,应用自动光学检测仪检 查网印质量,印刷图形应完整、边缘应齐整。

    6.0.15探针测试设备的试运行应符合下列规定:

    1应安装测试专用夹具,并应将待测晶圆通过调节手柄安装 到夹具上; 2启动设备总电源,应正常进入初始化界面; 3 开机后设备应无震动或杂音; 4 对配有标准测试板的设备应调入测试文件和校准板进行 坐标系统校准、测试针和摄像头校准; 应进入测试参数设定界面进行测试参数设定; 测试时设备应自动生成并打印出测试结果; 应在设定的测试参数基础上对晶圆进行通断验证,并应符 合打印的测试结果。 6.0.16 激光测厚仪的调试及试运行应符合下列规定: 1 应仔细观察测量传动轴,运动时应顺畅无异响; 2 应根据设备技术要求由专业人员使用计量合格的校准件 进行校准; 3激光对焦千分尺旋钮使用中应顺畅,并应能自锁; 4测量范围应满足技术指标要求。

    6.0.17X射线检查仪的调试及试运行应符合下列规定: 1将待测样件放到设备载片台上、夹持好或吸附住后,应关 团并锁定设备安全门: 2开启总电源,控制工作台运动,各个运动部位应在运行平 稳的状态下使红色指示光标指到待检样件中心位置;

    X光开关开启前必须确保设备安全门处于关闭状态:

    .0.18MOCVD设备的调试及试运行应符合下列规定:

    1应在确认供电相序止确后再给设备逐级送电开确认设备 初始化成功,设备初始化成功后应逐个检查确认紧急断电按钮功 能正常并做好检查记录。 2应检查确认每个MOCVD反应腔的真空压力检测和控制 功能,所有真空部件与气体管道的漏率应符合工艺性能指标要求 3在通入每一路工艺气体之前,应先用纯化氮气代替对设备 每一路气体的气动阀与联动阀的控制逐一确认,并应确认该路气 本管道上的气体质量流量计及压力传感器的设定值与反馈值均可 经由系统控制软件正确发送和读取。 4所有互锁装置功能应有效、逻辑正确,特别是与安全相关 的实时监测传感器应直接触发相关报警并立即关断气源的源端气 动阀。必要时还可切断反应腔与真空泵机组间的连接以进一步保 护反应腔,防止可能发生的气体倒灌造成粉尘沾污。 5所有冷却水流量监测传感器功能应有效,触发时应及时关 断反应器内加热器电源组的供电以起到超温保护作用。 6应测试并确认石墨载盘在做加速、高速及减速转动时的稳 定性及摆动状态,并应确认石墨盘通过自动或手动机械手搬运时 的稳定性和位置的重复性和可靠性。 7应测试反应腔内加热器的有载状态下的温度控制以及重 复性,并应确认温控用温度传感器的信号通道的正确连接以及温

    度的精确度。 8应测试设备提供的可供模拟生产工艺用的测试工艺配方 以确认设备经调试已经准备好交给业主做工艺验收

    精确度。 应测试设备提供的可供模拟生产工艺用的测试工艺配方 认设备经调试已经准备好交给业主做工艺验收。

    7.1.1生产设备安装工程验收宜分为交接验收与工验收。

    7.2.1交接验收应由建设单位组织,并应根据施工合同、本标准

    1 生产工艺设备安装工程施工合同: 2 主要材料合格证或质量保证书; 3 设备开箱检查记录; 4 管道焊接检验记录; 5 设备按功能检验批质量验收记录; 6 设备配管配线的检验批质量验收记录; 7 设备二次配管压力试验、冲(吹)洗记录: 8 竣工图及设计变更文件; 9 工程质量事故处理记录。

    7.2.3验收组应对工程质量进行评价,并应提出验收结论。验收

    7.3.1建设单位接到生产设备调试单位按本标准附录B表 B.0.4填写的《生产设备安装工程交接(竣工)验收报告》后,应组 织安装施工单位、供货单位、设计单位组成验收组,并应根据施工 合同、设计文件、本标准及设备技术文件进行生产设备安装工程竣 工验收,

    3.2设备安装工程工验收时,调试单位应提供每台设备 几试运行记录。

    7.3.3验收组应对生产设备安装工程的所有工程内容

    审核、检查综合管廊标准规范范本,检查时应做好记录,各项指标符合设计要求应判为合 格。审查内容应包括设备安装、配管配线和设备技术指标

    7.4.1当生产设备安装工程、设备二次配管配线安装工程不符合 质量要求时,应按下列规定处理: 1经返工返修后的设备,安装检验批、二次配管配线检验批 应重新进行验收; 2经返工返修后的检验批能满足安全和使用性能要求时,可 按技术处理方案和协商文件进行让步接收。 7.4.2经返工返修仍不能满足安全使用和性能要求的分项工程

    7.4.2经返工返修仍不能满足安全使用和性能要求的分项工程

    7.4.2经返工返修仍不能满足安全使用和性能要求的分项工程 不得验收。

    B.0.3 设备二次配管压力试验、冲(吹)洗记录应符合表B.0.3 的规定。

    交通标准设备二次配管压力试验、冲(吹)法

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