SJ/T 11576-2016 喷雾式涂覆设备通用规范

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  • 5. 6 保护与报警功能

    5.8.4承片台装配精度

    变压器标准规范范本5.8.5承片台吸附压力

    承片台上有基片且旋转时,承片台吸附压力应不

    有基片且旋转时,承片台吸附压力应不低于40k

    5.8.6承片台温控精度

    5.8.7热盘温控精度及均匀度

    ~120℃,温控精度应不低于土0.6 均匀度≤0.6℃;温控范围在121℃~150℃,温控精度应不低于±1℃,温度均匀度≤1 空范围在151℃~180℃,温控精度应不低于±2℃,温度均匀度≤2℃

    5.8.8冷盘温控精度及均匀度

    5.8.9AD腔体真空度及盘面温控要求

    SJ/T115762016

    AD腔体应具有一定的真空压力,真空度应大于40kPa;腔体内热盘温控范围在100℃~150 控,温控精度应不低于±1℃。

    5.8.10膜厚及均匀性

    给设备输入不同的参数,基片上所喷胶膜厚度应能改变;同一基片上膜厚在2um30um的范围内 均匀性≤±20%

    5.9.1设备平均无故障工作时间(MTBF)≥300h

    法,对设备的外观进行检

    6.2.1保护接地电路的连续性试验按GB5226.1一2008中19.2的规定方法进行。 6.2.2绝缘电阻按GB5226.1一2008中19.3的规定方法进行。 6.2.3耐压试验按GB5226.1—2208中19.4的规定方法进行。

    6.3废气、废液排放装置检查

    6.4保护与报警功能检查

    在不损害设备性能及造成人身伤害的条件下,人为虚拟制造报警条件进行验

    实际操作设备,观察设备的动态显示,工艺配方执行情况,工作日志自动保存情况。在不损害设备 性能及造成人身伤害的条件下,人为虚拟制造机械动作等超限异常状态,验证设备自动监控、提示与报 警,故障自诊断、导引排除并追记等功能

    手动调节喷嘴,目测喷嘴位置及喷胶范围。采用电子天平滴多次取平均值测量胶量(称取的胶量可 换算成m1)。

    SJ/T115762016

    至少两槽重片,其他正常,在显示屏上观察系统是否能准确反映出片盒内放置的基片数量及 及斜片等现象。

    使用转速测量仪,对准承片台上正在旋转的贴有一条反射薄膜的基片进行测量。

    6.9承片台装配精度检测

    用固定在表座上的千分表,测量头接触承片台边沿部分,使承片台缓慢转动,观察千分表变化

    6.10承片台吸附压力检测 目测设备上的真空表,检查承片台吸 时送力 6.11 承片台温度检测 试验温度应以企 舒准 中规定的温度为准。 用温度检测仪 金测承 温度检测仪至少有5 精度±0.1℃, 温度传感器之间的 6.12 热盘温度 及均匀度检测 试验温度应以企业 产品标准中规定的温度务 用温度检 测热盘温控 秘 面温度均匀度 温度检测仪 个温度传感器, 精度土0.1℃, 温度传 器之间的保差土0.03℃ 6.13冷盘温度及均勺 度检测 试验温度应以企业产 标准中规定的温度为准。 2 用温度检测仪 温控范围及精度和盘面温度均匀度。温度检测仪至少有5个温度传感器, 精度±0.1℃,温度传感器之间的误差士0.03℃。 6.14AD腔体真空度检查及热盘温度检测 目测AD盘上的真空表,检查AD腔体的真空度 用温度检测仪,检测热盘温控范围及精度。温度检测仪至少有5个温度传感器,精度土0.1℃,温 度传感器之间的误差土0.03℃。

    6.10承片台吸附压力检测

    6.11承片台温度检测

    6.15膜厚及均匀性检源

    同一配方喷涂试验片数应不小于5片。 每个基片测量不少于9点,用显微镜或光学膜厚仪测量基片各点的膜厚。 均匀性按照公式(1)计算:

    实测厚度最大值+实测厚度最小值

    按GB/T5080.7的规定,选定试验方案,进行可靠性试验

    代涂覆设备的产品检验分为鉴定检验和出厂检验。

    在有下列情况(包含但不限于)之一时,应进行鉴定检验: a)新产品定型或产品改进设计后定型时; b)产品转厂生产时; c)产品关键部件、材料、工艺有较大改变,可能影响产品性能时 d)产品长期停产再次恢复生产时; e)出厂检验结果与鉴定检验结果有较大差异时; f)质量技术监督机构等提出鉴定检验要求时。

    鉴定检验样机应随机抽样(至少1台)

    鉴定检验的检验项目应符合表2的规定。

    SJ/T 115762016

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    7.2. 4 合格判定

    当所有鉴定检验项目检测结果都合格时,则该产品鉴定检验合格;若任一鉴定检验项目不合格 产品监宝检验不合格

    检验项目检测结果都合格时北京标准规范范本,则该产品鉴定检验合格;若任一鉴定检验项目不合格,则

    没备的包装和运输应符合GB/T29845的要求。

    8.3.1设备应存放在清洁、通风、干燥、无腐蚀性气体的仓库内

    8.3.1设备应存放在清洁、通风、干燥、无腐蚀性气体的仓库内。

    8.3.2设备储存环境

    8.3.2设备储存环境!

    a)温度:5℃~40℃。 b)相对湿度:45%~55%

    SJ/T115762016

    设备的使用说明书应按GB/T9969的准要求编制工程规范,同时应包含非正常状态处理、系统控制程序 编制、服务控制、配置参数控制等内容。

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