冷却塔框架结构静力学分析
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微型超级电容器是一种基于MEMS微加工工艺和电化学赝电容原理的微型储能器件。通过光刻、感应耦合等离子体刻蚀（ICP）和溅射等MEMS微加工工艺制作了硅基三维微电极阵列。
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并在其表面用阴极电沉积法制备了氢氧化亚镍功能薄膜。采用循环伏安法和交流阻抗法研究了三维微电极的性能。
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